一、IH 系列材质工艺核心

IH 系列是爱德华较早推出的干式罗茨真空泵家族，工艺体系：

· 基体材质：球墨铸铁 QT600-3

· HV 转子：含镍 ≥10% 球铁

· 摩擦副：碳化硅 vs 碳石墨

· LTC 轴封：特种氟橡胶 + 不锈钢弹簧

· 滤芯件：不锈钢金属网 + 滤纸复合

二、IH 系列标准转子：球铁精加工

2.1 X2-Y4 / LV 标准转子

图：X2 转子 — IH 家族基础款

图：X2 Rotor

标准工艺三步曲：

· 基体：球墨铸铁 QT600-3（抗拉强度 ≥600 MPa）

· 精加工：CNC 车削，端面跳动 ≤0.01mm

· 动平衡：G2.5 级 @ 12000 RPM

三、HV 高真空转子

图：HV 转子 — IH1800 高真空版

图：HV Rotor

HV 转子关键工艺：

· 含镍 ≥10%（耐腐蚀、抗氧化）

· 动平衡 G2.5 级 @ 12000 RPM

· 端面跳动 ≤0.008mm（高精度）

· 内孔精磨 Ra ≤0.4μm

· 与标准转子的关键差异：真空度提升 1-2 个数量级

四、IH1800 专用转子

4.1 XY1 转子（一级转子特殊版）

4.2 一级转子

五、多级定子：2ND-4TH + LV

5.1 共用定子

5.2 IH600/IH1000 专用定子

5.3 IH1800 专用定子（与 IH600/IH1000 料号不同）

图：2 级定子（2nd Stage Stator）— IH 家族多级定子

图：2nd Stage Stator

定子设计要点：

· 球墨铸铁基体（QT600-3）

· 内孔精磨（Ra ≤0.4μm）

· 端面跳动 ≤0.02mm

· 与转子的配合间隙 0.10-0.15mm

六、轴类组件

图：上泵轴套 — IH1800 关键轴套

图：Upper Pump Shaft Sleeve

图：轴端轴套 — IH1800 关键轴套

图：Shaft End Sleeve

七、密封组件：LTC 轴封 + 摩擦环 + 波纹管

7.1 摩擦环

7.2 LTC 轴封

LTC 轴封关键工艺：

· 动环：碳化硅（HV2600），镜面抛光 Ra ≤0.02μm

· 静环：浸渍碳石墨

· 弹簧：不锈钢波形弹簧

· 辅助密封：特种氟橡胶（耐 200℃ + 耐腐蚀）

7.3 波纹管

波纹管关键工艺：

· 多层波纹结构（补偿轴向位移）

· 氦质谱 100% 检漏

· 寿命 10⁶ 次循环

· 工作温度 -50℃ ~ +200℃

八、过滤组件：滤芯件

图：滤芯件 — IH1800 关键易损件

图：Filter Element

图：滤芯件 2 — IH1800 关键易损件

图：Filter Element2

图：滤芯件 1 — IH1800 关键易损件

图：Filter Element1

滤芯件关键工艺：

· 多层复合：金属网 + 滤纸 + 活性炭

· 过滤精度 5-10μm

· 工作压差 ≤0.05 MPa

· 寿命 8000-12000 小时

九、腔体组件（2 级 / 3 级 / 4 级 / LV）

十、IH1800 工艺升级总览

IH1800 相对 IH600/IH1000 的工艺升级

├─ HV 转子（TX110040055）：含镍 ≥10% 球铁

├─ XY1 转子：特殊型线

├─ 上泵轴套 + 轴端轴套：316L 不锈钢

├─ LTC 轴封：特种氟橡胶 + 不锈钢弹簧

├─ 摩擦环：碳化硅 vs 碳石墨

├─ 波纹管：316L 多层波纹

├─ 滤芯件：金属网 + 滤纸复合

└─ 4TH/LV 定子：料号独立（精度更高）

十一、材质选型决策建议

工况判断

├─ 干燥清洁空气/氮气 → 标准版（球铁 + 普通转子）

├─ 含 Cl₂/HCl 腐蚀气体 → 升级到 HV 转子（IH1800 用）

├─ 高洁净半导体 → 滤芯件（5-10μm）

├─ 实验室/研发 → 标准转子 + 标准滤芯

└─ 长期高温 → LTC 轴封 + 波纹管

十二、FAQ

Q1：IH 系列与 IXH 系列转子能互换吗？

A：不能。IH 系列接口与 IXH 不同（如 IH1800 转子料号 TX110040013-010 vs IXH1210H 转子料号 TX110040059-166）。

Q2：HV 转子工艺优势？

A：含镍 ≥10%，耐腐蚀、抗氧化，真空度提升 1-2 个数量级。

Q3：LTC 轴封寿命多长？

A：8000-12000 小时（高洁净工况下）。

Q4：IH1800 4TH 定子与 IH600/IH1000 通用吗？

A：不通用。料号不同（IH1800: TX110020010/011 vs IH600/IH1000: TX110020007/006）。

Q5：滤芯件更换周期？

A：8000-12000 小时或压差 ≥0.05 MPa 立即更换。

Q6：IH 系列能用 IXH 高镍转子升级吗？

A：不能。接口不同，强行安装会导致密封失效。

Q7：波纹管寿命？

A：10⁶ 次循环不破坏，对应 3-5 年使用寿命。