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爱德华 IXH1220 干式真空泵维修配件本文为爱德华 IXH1220 系列干式罗茨真空泵维修配件的完整选型指南,覆盖 43+ 物料编码、9 大类配件(转子、高镍转子、定子、轴、齿轮、腔体、密封、过滤、传动),适用于 IXH1220 单一机型的常规保养与大修。文中系统梳理了 X2-X4、Y2-Y4、LV 标准转子与 X3/X4/LV 高镍耐腐蚀转子、2ND-4TH 多级定子、HVHP/LVHP 专用定子、MB/DP 系列 X/Y 传动轴的型号适配关系,并提供快速选型表。
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一、IXH1220 机型特点 爱德华 IXH1220 是中型干式罗茨真空泵,与 IXH1820 同属 IXH 系列但尺寸略小: · 抽速:100-300 m³/h · 应用:半导体刻蚀、PECVD、磁控溅射、实验室真空 · 大修周期:12-18 个月 · 关键差异:与 IXH1820 的 MB 腔体、上下泵连接法兰(TX110070064 vs TX110070007)不同 IXH1220 单一机型配件种类相对集中(43 项),是 IXH1820 的精简版。 二、核心转子选型 2.1 标准转子(IXH1220 适用)
图:X3 转子(标准版)— IXH1220 基础款
图:X3 Rotor 2.2 高镍耐腐蚀转子(IXH1220 含镍 ≥16%)
图:LV 转子(标准版)— IXH1220 通用基础款
图:LV Rotor 2.3 A200HP 高镍转子(IXH1220 专用) A200HP 是 IXH1220 的特殊版本,料号与标准高镍转子相同:
三、多级定子选型
图:HVHP 定子 — IXH1220 高压比定子
图:HVHP Stator 四、轴类组件选型
图:MB 轴-X — 关键传动组件
图:MB Shaft-X 图:DP 轴-X — 关键传动组件
图:DP Shaft-X 五、腔体与法兰选型
图:上下泵连接法兰 — 关键密封部件
图:Upper-Lower Pump Connecting Flange 六、密封与传动选型
图:培林挡圈 — 关键精密五金件
图:Bearing Retaining Ring 图:DP & MB 导向圈 — 关键导向件
图:DP & MB Guide Ring 七、IXH1220 关键配件关系图 IXH1220 关键传动路径: 电机 → 电机联轴器(无料号)→ DP 轴-X/Y → DP 齿轮 → MB 齿轮 → MB 轴-X/Y → 转子 ↓ 四齿花型联轴器(TX120070005/006) ↓ 波形弹片(TX120040007) ↓ 波形弹片(TX120040029) ↓ 转子端 八、IXH1220 与 IXH1820 配件兼容性
九、IXH1220 选型决策树 您的 IXH1220 客户是? ├─ 半导体刻蚀(含 Cl₂/HCl) │ └─ 必须 A200HP 高镍转子(TX110044569-573) ├─ 半导体 PECVD(含 NH₃/N₂) │ └─ 标准转子 + 烧结过滤器 ├─ 磁控溅射 │ └─ 标准转子 + Y 型油雾过滤器 ├─ 实验室真空 │ └─ 标准转子 + T 型过滤器 └─ 工业高温 └─ 烧结金属粉末过滤器-1220 + 高镍转子 十、FAQ Q1:A200HP 高镍转子与标准高镍转子区别? A:A200HP 标注在 IXH1220 上,含镍量相同(≥16%),但在 IXH1220 配合面上做了微调。 Q2:IXH1220 与 IXH1820 的 MB 腔体能互换吗? A:不能。IXH1220 用 TX110000011,IXH1820 用 TX110001822。 Q3:HVHP 与 LVHP 定子区别? A:HVHP 用于高压比工况(IXH1220 起始压力 1-100 Pa),LVHP 用于低压比工况(0.1-1 Pa)。 Q4:烧结金属粉末过滤器-1220 是否通用? A:仅限 IXH1220 机型(料号 TX150050009)。 Q5:IXH1220 上下泵连接法兰可以定制吗? A:可以。太星提供按原厂规格定制的法兰(TX110070064),含 O 形圈。 Q6:IXH1220 的高镍转子是否比标准球铁贵很多? A:含镍 ≥16% 工艺复杂,价格比标准转子高 30-40%。 |







