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爱德华 IXH1220 干式真空泵维修配件

本文为爱德华 IXH1220 系列干式罗茨真空泵维修配件的完整选型指南,覆盖 43+ 物料编码、9 大类配件(转子、高镍转子、定子、轴、齿轮、腔体、密封、过滤、传动),适用于 IXH1220 单一机型的常规保养与大修。文中系统梳理了 X2-X4、Y2-Y4、LV 标准转子与 X3/X4/LV 高镍耐腐蚀转子、2ND-4TH 多级定子、HVHP/LVHP 专用定子、MB/DP 系列 X/Y 传动轴的型号适配关系,并提供快速选型表。


黄先生
15880223078
厦门太星真空泵
 
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  • 商品说明

一、IXH1220 机型特点

爱德华 IXH1220 是中型干式罗茨真空泵,与 IXH1820 同属 IXH 系列但尺寸略小:

· 抽速:100-300 m³/h

· 应用:半导体刻蚀、PECVD、磁控溅射、实验室真空

· 大修周期:12-18 个月

· 关键差异:与 IXH1820 的 MB 腔体、上下泵连接法兰(TX110070064 vs TX110070007)不同

IXH1220 单一机型配件种类相对集中(43 项),是 IXH1820 的精简版。

二、核心转子选型

2.1 标准转子(IXH1220 适用)

物料编码

名称

适配机型

TX110040253

X2 转子

IXH1220

TX110040254

Y2 转子

IXH1220

TX110040255

X3 转子

IXH1220

TX110040256

Y3 转子

IXH1220

TX110040257

X4 转子

IXH1220

TX110040258

Y4 转子

IXH1220

TX110040259

LV 转子

IXH1220

图:X3 转子(标准版)— IXH1220 基础款

image.png 

图:X3 Rotor

2.2 高镍耐腐蚀转子(IXH1220 含镍 ≥16%)

物料编码

名称

含镍量

TX110044569

X3 高镍转子

≥16%

TX110044570

Y3 高镍转子

≥16%

TX110044571

X4 高镍转子

≥16%

TX110044572

Y4 高镍转子

≥16%

TX110044573

LV 高镍转子

≥16%

图:LV 转子(标准版)— IXH1220 通用基础款

image.png 

图:LV Rotor

2.3 A200HP 高镍转子(IXH1220 专用)

A200HP 是 IXH1220 的特殊版本,料号与标准高镍转子相同:

物料编码

名称

适配机型

TX110044569

A200HP X3 高镍转子

IXH1220

TX110044570

A200HP Y3 高镍转子

IXH1220

TX110044571

A200HP X4 高镍转子

IXH1220

TX110044572

A200HP Y4 高镍转子

IXH1220

TX110044572

A200HP LV 高镍转子

IXH1220

三、多级定子选型

物料编码

名称

适配机型

TX110020224

2ND 定子

IXH1220

TX110020225

3RD 定子

IXH1220

TX110020226

4TH 定子

IXH1220

TX110020227

LV 定子

IXH1220

TX110020121

HVHP

IXH1220

TX110020129

LVHP

IXH1220

图:HVHP 定子 — IXH1220 高压比定子

image.png 

图:HVHP Stator

四、轴类组件选型

物料编码

名称

适配机型

TX110016004

MB 轴-X

IXH1220

TX110016005

MB 轴-Y

IXH1220

TX110030008

DP 轴-X

IXH1220

TX110030007

DP 轴-Y

IXH1220

图:MB 轴-X — 关键传动组件

image.png 

图:MB Shaft-X

图:DP 轴-X — 关键传动组件

image.png 

图:DP Shaft-X

五、腔体与法兰选型

物料编码

名称

适配机型

TX110000011

MB 腔体

IXH1220

TX110070064

上下泵连接法兰

IXH1220

图:上下泵连接法兰 — 关键密封部件

image.png 

图:Upper-Lower Pump Connecting Flange

六、密封与传动选型

物料编码

名称

适配机型

TX120010010

轴封

IXH1220

TX120020078

轴套

IXH1220

TX120040029

波形弹片

IXH1220

TX120040007

波形弹片(马达)

IXH1220

TX130030005

马达精密间隙片

IXH1220

TX150050005

Y 型油雾过滤器

IXH1220

TX150050007

T 型过滤器

IXH1220

TX120060001

胀紧套

IXH1220

TX120070006

齿轮侧四齿花型联轴器

IXH1220

TX120070005

四齿花型联轴器 OD65-ID28-H57.5

IXH1220

TX120070002

星型联轴器弹性体

IXH1220

TX110600006

导向圈 DP&MB

IXH1220

TX120020001

培林挡圈

IXH1220

TX120020024

培林套

IXH1220

TX130050007

定位销

IXH1220

TX130050011

轴销(定制)

IXH1220

TX120080002

MB 齿轮

IXH1220

TX120080001

DP 齿轮

IXH1220

图:培林挡圈 — 关键精密五金件

image.png 

图:Bearing Retaining Ring

图:DP & MB 导向圈 — 关键导向件

image.png 

图:DP & MB Guide Ring

七、IXH1220 关键配件关系图

IXH1220 关键传动路径:

电机 → 电机联轴器(无料号)→ DP 轴-X/Y → DP 齿轮 → MB 齿轮 → MB 轴-X/Y → 转子

                                ↓

                            四齿花型联轴器(TX120070005/006)

                                ↓

                            波形弹片(TX120040007)

                                ↓

                            波形弹片(TX120040029)

                                ↓

                            转子端

八、IXH1220 与 IXH1820 配件兼容性

配件

IXH1220

IXH1820

通用

高镍转子(TX110044569-573)

✓

✓

✅

烧结金属粉末过滤器-1220

✓

—

—

通用密封件(轴封/轴套/弹片)

✓

✓

✅

MB 腔体

TX110000011

TX110001822

❌

上下泵连接法兰

TX110070064

TX110070007

❌

MB/DP 齿轮

通用

通用

✅

联轴器系列

通用

通用

✅

九、IXH1220 选型决策树

您的 IXH1220 客户是?

├─ 半导体刻蚀(含 Cl₂/HCl)

│   └─ 必须 A200HP 高镍转子(TX110044569-573)

├─ 半导体 PECVD(含 NH₃/N₂)

│   └─ 标准转子 + 烧结过滤器

├─ 磁控溅射

│   └─ 标准转子 + Y 型油雾过滤器

├─ 实验室真空

│   └─ 标准转子 + T 型过滤器

└─ 工业高温

    └─ 烧结金属粉末过滤器-1220 + 高镍转子

十、FAQ

Q1:A200HP 高镍转子与标准高镍转子区别?

A:A200HP 标注在 IXH1220 上,含镍量相同(≥16%),但在 IXH1220 配合面上做了微调。

Q2:IXH1220 与 IXH1820 的 MB 腔体能互换吗?

A:不能。IXH1220 用 TX110000011,IXH1820 用 TX110001822。

Q3:HVHP 与 LVHP 定子区别?

A:HVHP 用于高压比工况(IXH1220 起始压力 1-100 Pa),LVHP 用于低压比工况(0.1-1 Pa)。

Q4:烧结金属粉末过滤器-1220 是否通用?

A:仅限 IXH1220 机型(料号 TX150050009)。

Q5:IXH1220 上下泵连接法兰可以定制吗?

A:可以。太星提供按原厂规格定制的法兰(TX110070064),含 O 形圈。

Q6:IXH1220 的高镍转子是否比标准球铁贵很多?

A:含镍 ≥16% 工艺复杂,价格比标准转子高 30-40%。


联 系 人:黄先生

手      机:15880223078

邮      箱:mike@xiamenbest.com

服务热线:0592-6800154

网       址:www.xmvacuum.com

地       址:厦门市集美区东安前占里19号

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