日本荏原（EBARA）ESR100CN 多级罗茨干式真空泵，属于 ESR 节能罗茨（Energy-Saving Roots）系列，是一款专为半导体洁净室设计的前级干泵。型号中“100”代表标准流量规格（4000–8500 L/min），“C”表示标准洁净型（Clean，适用于轻度腐蚀工况），“N”代表水冷结构。整机采用多级无油罗茨干式设计，无油腔、无油蒸汽污染，满足高洁净制程要求。

核心技术参数

• 真空与抽速：标称抽速 4000～8500 L/min（240–510 m³/h），极限真空 0.2 Pa（1.5 mTorr），进气口径 NW50，排气口径 NW40。

• 电气与功率：电源三相 200/220V 50/60Hz，空载底压功耗 0.8～1.1 kW，最大峰值功率 5.0 kW。

• 冷却与公用工程：内置水冷夹层冷却，冷却水流量最小 2 L/min（建议 2–8 L/min），供水温度 ≤30℃，标配多级间冷却器，抑制工艺气体冷凝并防粉末结块。

• 吹扫与防腐：标配多级氮气吹扫（低耗量），腔体及冷却水路采用不锈钢材质，适配轻度腐蚀气体；内置高温运行设计，避免水汽或反应副产物凝结附着转子。

核心产品特点

1. 洁净无油干式结构：全程无润滑油接触气路，无油返流，满足半导体、光学镀膜等高洁净制程要求。

2. 节能低运行成本：多级罗茨梯度压缩，相比传统干泵空载功耗大幅降低，长期电费优势显著。

3. 耐轻度腐蚀、防凝设计：不锈钢水冷回路配合分段氮气吹扫，适合刻蚀、LPCVD 氮化、薄膜沉积等产生微量粉尘或腐蚀性气体的工艺。

4. 完备泵体保护系统：集成水温、电机过载、温度、流量、压力多重联锁保护，自带控制监测面板，可对接设备上位机通讯。

5. 低振动低噪音：动平衡多级转子加整机隔音壳体，Subfab 洁净厂房安装友好。

6. 维护周期长：无油腔设计，仅需定期更换吹扫过滤器、水路滤芯，年度大修周期长，产线停机少。

典型应用场景

• 半导体设备（主力用途）：Load Lock 锁气室、传输腔、PVD 磁控溅射、PECVD 薄膜沉积、轻度干法刻蚀前级泵；适配 8/12 寸晶圆制程。

• 光电 / 显示行业：OLED、LCD 镀膜、蒸镀腔体粗抽前级。

• 科研精密设备：大型扫描电镜、溅射镀膜机、等离子清洗机、真空热处理炉。

• 锂电 / 化工轻度腐蚀真空：真空涂布、电解液脱泡、低腐蚀溶剂回收。

同系列型号区分（快速选型）

日常维护要点

• 水路：每月检查冷却水流量、过滤器，防止水垢堵塞冷却夹层。

• 气路：定期更换入口粉尘滤芯、氮气吹扫滤芯，避免颗粒进入转子间隙造成磨损。

• 电气：季度检查电机绝缘、急停、温度联锁报警功能。

• 大修：2–3 年整机拆解清洗转子、腔体，更换密封件与轴承。

配套选型建议

• 腐蚀较重（HF、Cl₂）工艺：升级 ESR100WN，增加内衬防腐涂层。

• 厂区无冷却水条件：替换同流量风冷 EV-X100N。

• 大腔体快速抽气：ESR100CN 搭配罗茨增压泵组合机组。

如需了解更多关于干式真空泵选型或技术支持，请访问官方网站或联系太星（Taixing）技术团队。