汉钟 Hanbell PS752-AC1 干式螺杆真空泵参数｜半导体真空泵选型 12500L/min 水冷

大抽速干式螺杆泵的二手现货一直紧俏，能在 0.1 Pa 量级稳定运行、成色与整备记录都过得去的更少。本文推介的是一台 2019 年出厂的汉钟 HANBELL PS752-AC1，铭牌抽速 12500 L/min（约 750 m³/h）、极限压力 0.00075 torr，属 ISO100 入口口径的工业级干式螺杆机型。选型时先按工况压强段与气体负载划定口径，再逐项复核铭牌参数，这份干式螺杆真空泵选型参数可作为第一层筛选依据。

一、适用工况与落位判断

12500 L/min 折合约 750 m³/h，这一档抽速通常落在中等腔体的主抽位：半导体刻蚀与薄膜沉积的工艺腔预抽、光伏镀膜线的抽气段、锂电注液与干燥、真空镀膜前处理、精细化工蒸馏，以及需要集中抽气的中央真空系统。能否落位先看三项：目标工作压力是否留出余量、工艺气体是否含可凝性组分、腔体容积与抽气时间要求是否匹配 750 m³/h 这一量级。同处 700 m³/h 以上区间的还有荏原 EV-S200 干式真空泵参数，可作横向比对。这里要说明一点：干式指的是气路无油，不等于全机免维护——泵腔内确实没有密封油，但齿轮箱与轴承仍须按规定周期整备，这一点在二手设备上尤其要落到书面。

二、技术原理与水冷结构的适用边界

螺杆转子的型线与间隙决定极限压力，转速决定单位时间排气容积，二者共同约束了 0.00075 torr 与 12500 L/min 这两个数的关系。本机为双电机配置：干泵电机 3Φ 2P 6HP 承担主压缩，助力电机 3Φ 2P 4HP 负责级间增压，这种结构让单机在较宽的压力段内都能保持抽速，不必额外加装增压级。冷却方式为水冷，设计水流量 4 L/min、进水温度 10–25℃、压力 2–3 bar，意味着它更适合长时间连续运行的产线工况，而不是间歇启停的实验台架；现场必须先确认冷却水回路与水温能否长期稳定在这个区间，否则抽速会随泵体升温而衰减。若现场只有风冷条件、且腔体偏小，荏原 EV-S100P 水冷与风冷机型参数可作为反向对照，把冷却方式与工位条件的匹配关系算清楚再定机型。

三、行业标准与验收口径

抽速与极限压力这类核心指标的测量方法，国际上一般参照 ISO 21360 系列（真空泵性能的标准测量方法）。验收时应确认测试气体、入口压力点与温度条件是否与合同一致，否则同一台机在不同口径下测出的数值可能相差两成以上。本机执行标准为 Q31/0116000277C001-2015，制造号 C93G169571，生产日期 2019 年 9 月 15 日，均可据此回溯原厂技术资料。二手设备另需补齐三项材料：可追溯的出厂日期与制造号、整备记录、通电试机时的实测抽速与极限压力数据。三项齐备，才算把「参数可信」这件事落到实处。

四、机型沿革与代号解读

汉钟 HANBELL 的干式螺杆泵以 PS 系列为主力，752 对应口径与抽速等级，AC1 是配置代号，差异通常落在电控版本、接口配置与冷却方式上。替换或增补同系列机型时，752 与 AC1 这两个字段必须逐一核对，只认 752 很容易买错接口。本机整机重量 470 kg，属需要提前设计吊装路径与基础承重的设备，不是落地即用的小机型。若需把它并入既有真空系统，真空镀膜设备真空系统配置方案里给出的配置逻辑可直接套用；半导体产线的落位条件则可参考半导体行业干式真空泵选型方案中按工艺段分档的口径。

五、铭牌参数表

六、专家点评：什么工况该选它

一句话判断：当工况要求气路无油、需要 750 m³/h 量级抽速与长时间连续运行，且现场具备 470 kg 级吊装与稳定水冷条件时，这台 PS752-AC1 是成本效率更优的选择。三条提醒：一是 0.00075 torr 是极限值，实际工作压力应按工艺留足余量，不要把极限当工作点用；二是水冷是它的性能前提而非可选项，水温或流量不达标会直接反映为抽速下降；三是二手干式螺杆泵的核心风险点在转子间隙与齿轮箱状态，务必索要整备记录并在通电试机时重点复核抽速曲线。化工与溶剂回收类工况的落位条件，可对照化工行业真空泵选型给定的介质与材质口径；需要按现场参数核算泵组配置或索取型号报价，可由工程师倒推选型方案。