产品概述

• 品牌：EBARA 荏原（日本）

• 设备类型：DRY PUMP 干式真空泵（无油螺杆）

• 型号：EVS200（系列 EV-S）

• 设备编号：DKG01015

• 状态：二手｜已按出厂规范保养｜可立即装机使用

• 库存：现货 1 台

• 参考价：¥108,000（具体成交价可致电详谈）

核心技术参数

说明：以上参数为铭牌实测值。如需更详细的工况曲线、能耗数据或接口尺寸，可联系工程师索取技术资料。

产品亮点

1. 无油干式结构，杜绝油气污染

螺杆型干泵腔体无油介质参与抽气过程，从源头避免油蒸气回灌污染真空腔体、样品及工件，特别适用于洁净工艺制程和高精度镀膜/刻蚀场景。

2. 大抽速 + 低极限压力

20000 L/min（≈1200 m³/h）级别抽速配合 0.5 Pa 极限压力，可稳定支撑 Load-lock 腔体预抽、转移腔抽空、工艺腔维持等中高真空段作业。

3. 水冷散热，适合长时连续运行

采用水冷方式散热，相比风冷更稳定，适合 24 小时连续生产或大负载工况下长时间运行。

4. 可选氮气吹扫防腐版本（EV-S200PN）

针对腐蚀性介质工况，可配置 EV-S200PN 防腐版，配套 NW100 标准接口，便于接入腐蚀性工艺管线，扩展更广泛的应用场景。

5. EV-S 系列节能特性

搭载怠速休眠功能，低负载时自动降速运行，长期使用可显著降低能耗与运行成本。

6. 多级罗茨 + 螺杆复合

采用多级罗茨 + 螺杆复合结构，大腔体抽气效率高、低压段表现稳定，能应对多种排气曲线工况。

典型应用领域

• 半导体行业：刻蚀腔、CVD/PVD 腔体预抽与维持、Load-lock 腔体抽空

• FPD（平板显示）：面板制程真空传送腔、蒸发腔与溅射腔

• 化工制药：蒸馏、干燥、脱气、浓缩等需要洁净真空的工艺

• 真空镀膜、光学镀膜：高洁净真空环境要求场景

• 新能源 / 光伏：薄膜电池真空工艺环节

• 科研实验室：替代部分油泵，提供洁净高真空环境

• 工业真空热处理、烧结、钎焊：洁净抽气工序

设备现状与服务承诺

• 原产地：日本原装进口，型号、铭牌完整可查。

• 入库流程：每台设备到我司后，工程师按规范进行清洁、外观检查、电气绝缘、轴承状态、真空性能复测，保证"保养好马上装机使用"。

• 出货支持：可配套提供安装指导、调试协助、保养培训、备件供应。

• 售后保障：我司设有专门维修车间、配备标准维修工具与规范化作业流程；运行中如出现异常，提供技术支持与返厂维修服务。

为什么选择厦门太星机电

厦门太星机电有限公司 2009 年成立于厦门集美，深耕真空工业十余年，凭借成熟的维修技术、合理的报价与规范的服务流程，已成为众多半导体、化工、制药及科研企业值得信赖的真空设备合作伙伴。

我们的核心优势

1. 原厂日本进口渠道，机型溯源清晰

2. 自有维修车间 + 标准工装，到货即检、即装即用

3. 库存实拍、可现场验机（支持视频/照片核对铭牌与外观）

4. 灵活定制，可根据工况加装氮气吹扫、防腐处理、特定接口改造

5. 大批量 / 长期合作，可面议价格与维保方案

现货 1 台，先到先得。如需了解同型号多台配置、不同 EV-S 系列机型，或需要同等工况下的替代选型方案，欢迎随时来电咨询，工程师将根据您的工艺需求推荐最合适的真空方案。

联系咨询

• 24 小时服务热线：0592-6800154 / 15880223078

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