TX400双阀体推车款大抽速氦质谱检漏仪，是专为真空工业、半导体制造等高端领域打造的旗舰级检测设备，采用双阀体专属设计与推车式集成结构，融合氦气示踪原理与180°非均匀磁偏转质谱分析技术，贴合干式氦气检测行业标准。设备搭载专属气路辅抽系统，支持多泵灵活配置，可实现大抽速、超精准泄漏检测，广泛应用于半导体、压力容器、真空镀膜、电池制造等对清洁度与抽速要求严苛的场景，是高端工业级检漏的核心优选设备。

核心特点

✦ 超高检测精度：真空模式最小可检漏率达5.0E⁻¹³Pa·m³/s，吸入模式≤5.0E⁻⁹Pa·m³/s，检测极限低至1.0E⁻¹²mbar·l/s，精准捕捉微漏信号。
✦ 双阀体专业设计：贴合真空工业、半导体制造干式氦气检测标准，适配高清洁度工况，保障检测过程无污染，符合高端行业严苛要求。双阀体结构实现精准气路切换。
✦ 大抽速高效响应：专属气路辅抽设计 + 多泵灵活配置，抽速按需优化；启动时间≤3min，响应时间≤0.5s，大幅缩短检测周期。
✦ 推车式移动灵活：一体化推车结构，兼顾稳定性与移动性，部署快速便捷，可灵活适配车间、工程现场等工业工况的移动检漏需求。
✦ 多气体检测适配：精准检测 He4/He3/H₂ 三种气体，覆盖常规氦检漏、同位素检测、氢示踪检漏等多元工况，适配多行业需求。
✦ 双远程无界操作：100m 无线遥控 + 50m 蓝牙 APP 双控制，突破空间限制，适配大型设备、危险环境等不便近距离操作的场景。
✦ 强抗干扰稳数据：内置进气口与内部计算功能，可抵抗高背景氦气干扰，复杂环境下检测结果精准可靠，避免误判。
✦ 高适配性实用：支持中/英/俄三语言、4种测量单位切换，配备RS232/IO通讯接口，满足国际化使用与自动化数据交互需求。真空模式精度表现尤为突出。

性能参数表

技术指标	参数值
最小可检漏率 He4	5.0E⁻¹³Pa·m³/s（真空）；≤5.0E⁻⁹Pa·m³/s（吸入）
检测极限	1.0E⁻¹²mbar·l/s
响应时间	≤0.5s
启动时间	≤3min
分子泵抽速 He	2.5L/s (Hicube 80)；8L/s (Iwata 500C / 安捷伦 TS600)
前级真空泵抽速	干泵：8L/s (Iwata 500C / 安捷伦 TS600)，30m³/h；4L/s (Iwata 250C / 安捷伦 TS300)，15m³/h；油泵：6L/s (BAOSI RV24 等)，24m³/h
可检气体	He4 / He3 / H2
测量单位	Pa·m³/s、mbar·l/s、Torr·l/s、PPm
离子源	氧化钇铱丝（两根）
质谱分析室	180° 非均匀磁偏转质谱
校准漏孔	通道型 - 7mbar·l/s（内置漏孔）
通讯接口	RS232/IO
语言	中文 / 英文 / 俄文
工作环境	温度 5~40℃，湿度≤80%
电源供电	AC220V±10%
重量	约 115Kg
尺寸	974mm × 550mm × 1026mm

TX400 氦质谱检漏仪实机展示

应用领域

半导体与电池制造：贴合半导体干式氦气检测标准，对半导体生产设备、电池密封组件等进行高精度检漏，满足高清洁度与高可靠性要求。

压力容器与管道：对高压/常压压力容器、工业管道、化工管道等进行密封检测，规避泄漏安全风险，保障工业生产稳定。

真空镀膜行业：对真空镀膜设备、镀膜管路系统进行大抽速精准检漏，避免泄漏影响镀膜工艺，保障镀膜产品品质均匀性。

高洁净真空设备：对高端实验室真空系统、工业高洁净度真空设备进行密封检测，保障真空环境的清洁度与密封性。

其他高端工业场景：适配对抽速、清洁度、检测精度有严苛要求的高端制造与科研领域，如精密仪器、航空航天零部件等。

为何选择 TX400 氦质谱检漏仪？

TX400 是专为高端工业检漏场景打造的核心设备，核心优势在于双阀体专业设计与大抽速性能的完美融合。设备贴合半导体等行业干式氦气检测标准，高清洁度设计保障检测无污染；专属气路辅抽与多泵配置，满足大抽速检漏需求；推车式结构兼顾移动性与稳定性，适配多场景作业；双远程控制、强抗干扰能力、多气体检测等实用功能，大幅提升操作便捷性与场景适配性。无论是半导体制造的高洁净要求，还是真空镀膜的大抽速需求，TX400 都能以超高精度提供高效、可靠、专业的检漏解决方案，成为高端工业检漏领域的标杆产品。

常见问题解答

1. 核心用途是什么？

贴合干式氦气检测标准，对真空设备、密封元器件、压力容器等进行大抽速高精度检漏，适配半导体、真空镀膜等高清洁度、高抽速要求的工况。

2. 双阀体设计有什么优势？

专为真空工业、半导体制造设计，贴合干式氦气检测标准，适配高清洁度检漏工况，避免检测过程中的污染，保障产品质量。

3. 抽速能否灵活调整？

可以，支持分子泵、干泵、油泵多规格可选，按需搭配可最大化提升抽速，满足不同场景的大抽速检漏需求。

4. 两种检测模式如何选择？

真空模式：精度更高，适用于对精度要求极高的真空系统、密封元器件检漏；吸入模式：无需抽真空，适用于大型设备、现场维修等场景。

5. 远程控制的优势是什么？

无线遥控（100m）+ 蓝牙 APP（50m）双控制，可远程操作设备启动、参数设置、数据查看，适配大型设备内部、危险环境等不便近距离操作的场景。

6. 如何保障复杂环境下的检测精度？

内置进气口与内部计算功能，强抗氦气干扰，可在高浓度氦气环境下稳定检测；专业质谱室设计与长寿命离子源，确保检测数据精准可靠。

7. 支持数据自动化管理吗？

配备 RS232/IO 通讯接口，支持数据传输与设备联动，满足自动化检测、数据记录与分析需求，便于生产质量管控。

8. 维护成本高吗？

模块化设计简化日常维护；搭载两根氧化钇铱丝离子源，灵敏度高、使用寿命长，有效降低设备维护成本。

产品总结

TX400双阀体推车款大抽速氦质谱检漏仪，以双阀体专业设计、大抽速高效响应、超高检测精度、全场景适配为核心竞争力，完美契合半导体、真空镀膜等高端行业的严苛需求。设备集多泵灵活配置、双远程控制、强抗干扰能力于一体，操作便捷、稳定可靠，既能满足高清洁度工况的无污染检测要求，又能通过大抽速设计提升检测效率。无论是批量生产的质量把控，还是高端设备的精准检测，TX400 都能提供专业的检漏解决方案，为产品生产质量、生产安全与设备运行效率提供坚实保障，是高端工业检漏领域的优选设备。

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