本款高性能TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计，是集成倒置磁控管与皮拉尼原理的复合式真空测量设备，可实现5×10^-9mbar～大气压超宽量程连续测量，一体化紧凑设计搭配标准对数模拟输出信号，大幅简化安装、设置与系统集成流程，广泛用于高真空监控、蒸发/溅射系统本底压力检测、中高真空通用测量与控制场景，可直接替代 INFICON MPG400 系列使用，是高端真空系统压力监测的优选设备。

核心特点

1. 双原理复合测量：倒置磁控管 + 皮拉尼一体式设计，单台覆盖超高真空至大气压全量程。

2. 超宽测量范围：测量区间 5×10⁻⁹ mbar～1000 mbar，满足全真空区间压力监测需求。

3. 无烧丝可靠设计：结构优化杜绝单丝烧毁问题，长期运行稳定性更高、寿命更长。

4. 优异点火特性：高压启动响应快、点火稳定，适配高真空频繁启停工况。

5. 易清洁耐高温：内部结构简洁，支持 150℃ 烘烤除气，洁净度高、维护简单。

6. 密封方案可选：提供 FPM 密封与金属密封馈入装置，适配不同真空洁净度要求。

7. 高压状态指示：配备绿色 LED 高压指示灯，运行状态直观可见。

8. 标准对数输出：0～10.5V 对数模拟信号，每十倍量程 0.6V，便于系统采集与控制。

性能参数表

1） 没有电子和磁遮蔽。

2） 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。

零件号

应用领域

1. 高真空系统压力监控：实时监测真空系统本底压力与工作压力。

2. 蒸发 / 溅射镀膜设备：精准检测镀膜腔本底真空，保障镀膜质量稳定。

3. 中高真空测量控制：通用型中高真空区间压力测量与闭环控制。

4. 科研实验室装置：表面分析、材料测试、粒子设备等真空腔体监测。

5. 半导体与精密设备：晶圆制程、真空炉、检漏设备等配套压力检测。

为何选择TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计？

TMPG400是专为宽量程、高真空、高可靠监测需求打造的工业级复合真空计，核心优势在于双原理一体式设计，单台设备覆盖从超高真空到大气压的全量程，省去多台真空计切换与集成成本；无烧丝结构与优异点火特性大幅提升长期运行稳定性；标准对数输出、任意安装、可烘烤清洁等特性，完美适配高端真空设备严苛要求。设备可直接对标替换进口 MPG400 系列，性价比与兼容性突出，是镀膜、科研、半导体等领域真空监测的理想选择。

常见问题解答

1. 核心用途是什么？倒置磁控管与皮拉尼复合测量，实现 5×10⁻⁹ mbar～大气压 超宽量程真空监测，适用于高真空与中高真空系统。

2. 测量范围与精度是多少？测量范围 5×10⁻⁹ mbar～1000 mbar；1×10⁻⁸～100 mbar 范围内精度 ±30%，重复性 ±5%。

3. 是否支持高温烘烤？支持，最高烘烤温度 150℃（无电子与磁屏蔽），可有效除气提升真空洁净度。

4. 输出信号是什么格式？标准 0～10.5V 对数模拟电压，每数量级 0.6V 输出，方便接入工控系统。

5. 可以直接替代 INFICON MPG400 吗？可以，TMPG400 FPM sealed 可直接替代 INFICON MPG400 FPM sealed，接口与性能完全兼容。

6. 安装方向有限制吗？无限制，支持任意方向安装，适配各类真空系统布局。

7. 最长可使用多长传感器电缆？标配 8 芯屏蔽电缆，最长支持 50 m，需按长度适当提高供电最低电压。

8. 如何判断设备运行状态？通过绿色 LED 指示灯判断高压开启状态，同时输出信号可反馈传感器工作状态。

产品总结

TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计集宽量程覆盖、复合测量、稳定可靠、易集成于一体，是中高真空与高真空监测场景的标杆设备。依靠倒置磁控管 + 皮拉尼双原理实现 5×10⁻⁹ mbar 至大气压的无断点测量，无烧丝、易清洁、可烘烤、标准信号输出，可直接替代进口同型号产品。无论是镀膜设备、科研装置、半导体设备还是通用真空系统，TMPG400都能提供稳定、精准、便捷的真空测量解决方案，凭借 "超宽量程 + 高可靠 + 易集成" 的核心优势，成为高端真空监测领域的优选设备。