本款 HiPace 2300 为德国 Pfeiffer（普发）原厂高端大流量涡轮分子泵，标配 TCP1200 外置专用驱动单元，分 DN250 ISO-K、DN250 ISO-F、DN250 CF 三大法兰规格，采用混合轴承结构（高真空侧永磁无油轴承 + 前级陶瓷滚珠轴承），氮气标称抽速 1900L/s，氦气 2000L/s、氢气 1850L/s，兼顾轻重气体超高压缩比；标配水冷结构，极限真空优异，CF 法兰机型可达＜5×10⁻¹⁰hPa，标配 RS485 通讯，可拓展多种工业总线协议，分 C 防腐型、U 倒装型等定制版本，广泛应用半导体光刻、光学镀膜、航天热真空、电子束焊、科研大型分析设备等高精超高真空领域，是大中型超高真空系统主力主抽泵。

1. 轻重气体全优抽速压缩：N₂=1900L/s、He=2000L/s、H₂=1850L/s、Ar=1800L/s；N₂/Ar 压缩比＞10⁸、He=3×10⁵、H₂=2×10⁴，轻重气体抽吸性能均衡，大工艺气量工况稳定。

2. 高端混合轴承长效耐用：高真空端永磁免维护轴承 + 前级陶瓷滚珠轴承，标准洁净工况整机设计寿命 40000h，轴承常规 4 年一换油保养，大幅降低维保频次。

3. 多方位灵活安装：允许 0°~180° 全角度安装（法兰上/侧/朝下均可），U 定制款可倒置安装，适配真空柜、腔体各类非标布局。

4. 低噪水冷恒温运行：整机噪音≤50dB(A)，标配循环水冷，冷却水 15~35℃、额定耗水量 100L/h，高温工况驱动自动降功率保护转子。

5. 智能多协议电控：配套 TCP1200 驱动，标配 RS485，可选 Profibus/DeviceNet/EtherCAT/Semi E74 多种总线，远程启停、温度/转速/故障全参数监控。

6. 防腐定制可选：C 型泵体过流镀镍，耐弱酸、微量腐蚀工艺气体，标配密封气接口（17.5~20sccm），恶劣工况通入保护气阻隔粉尘水汽。

7. 多重安全防护：内置超速、超温、前级高压、缺水冷、失电联锁保护，断电自动延时破真空，防止返尘损伤转子。

8. 标准化全配附件：原厂成套法兰套件、防护网、减震垫、放气阀、密封气阀全规格备货，拆装配件型号统一，采购便捷。

1. 半导体 & 光伏行业：晶圆刻蚀、ALD、PVD/CVD 镀膜、Loadlock 腔体、太阳能电池薄膜沉积，大腔体高真空主力泵。

2. 光学镀膜行业：光学镜片、车载灯具、装饰耐磨涂层、AR 减反膜真空蒸镀、磁控溅射产线。

3. 航天军工领域：航天器空间热环境模拟舱、电子束焊接、真空钎焊、高能加速器配套超高真空机组。

4. 科研院所设备：大型质谱、SEM/TEM 超高电镜、表面分析仪器、等离子体物理实验装置。

5. 热处理工业：特种合金真空淬火、真空钎焊炉、高温烧结炉主抽真空系统。

6. 医疗影像设备：医用加速器、高端影像设备配套超高真空单元。

混合轴承低维保：永磁无油 + 陶瓷复合轴承，洁净工况 4 年仅换一次专用润滑油，无频繁换轴承成本。

多法兰 + 定制选型灵活：ISO-K/F 通用工业款、CF 超高洁净科研款，C 防腐/U 倒装定制按需选型，适配各类腔体接口。

智能总线适配自动化：TCP1200 驱动多总线可选，对接 PLC 自动化产线，远程预警故障，减少停机排查工时。

密封气系统耐工艺污染：标配密封气阀，粉尘/微量腐蚀工艺通入惰性保护气，阻挡杂质入泵，延长泵体寿命。

全系列原厂配件完善：法兰套件、防护网、减震垫、放气阀等原厂件标准化，维保采购简单。如需了解更多真空泵配件信息，欢迎咨询。

HiPace 2300 涡轮分子泵以超大抽速、高低气体高压缩、混合轴承长寿命、多角度安装、智能电控为核心产品优势，依托普发真空德国流体与轴承研发工艺，解决大腔体高真空机组抽速不足、轻气体难抽、安装受限、故障率高等行业痛点。从半导体量产产线到航天空间模拟设备，从精密科研仪器到冶金真空炉，HiPace 2300 凭借稳定超高真空输出，成为大中型超高真空系统主抽标杆机型。