本款TXSP系列无油涡旋真空泵,是厦门太星机电专为高洁净、无油污染、中低真空工况研发的干式真空获得设备。采用双涡旋盘无接触啮合结构,动定涡旋盘精密配合,通过容积连续变化实现气体抽吸,全程无油润滑,可提供10--60m³/h(立方米/小时)的稳定抽速,极限真空可达0.008mbar(毫巴,即0.8Pa/帕斯卡)。设备具备洁净无油、低噪低振、免维护、长寿命等核心优势,广泛应用于半导体、分析仪器、医疗制药、食品包装等领域,是油润滑真空泵的理想替代设备。
核心特点:
100%无油洁净:涡旋腔无油设计,无油蒸气返流,杜绝污染,满足半导体、医药、实验室级洁净真空要求。
高效稳定抽气:双涡旋盘精密啮合,容积效率高,抽速稳定,极限真空可达0.008mbar(毫巴)。
低噪低振运行:动平衡优化涡旋盘,运行噪音低至≤58dB(A)(A计权分贝),振动小,适配精密仪器与安静环境。
免维护长寿命:无油无接触设计,无易损件,轴承寿命长达40000h,密封寿命20年,长期运行无需换油。
宽域介质适配:可抽空气、惰性气体,适配微量水蒸气(≤40mbar/毫巴),轻度粉尘环境可加前置过滤器。
风冷节能高效:全风冷设计,无需冷却水,适配各类工况,电机效率高,能耗较同类低10--15%。
智能控制便捷:可选变频控制,精准调节抽速;内置过热、过载保护,运行安全可靠。
安装灵活占地小:结构紧凑,重量轻,支持水平 / 垂直安装,法兰标准为KF25(快装真空法兰25口径)/KF40(快装真空法兰40口径),适配狭小空间。
性能参数表:
| 型号 | 单位 | TXSP75 | TXSP150 | TXSP300 | TXSP600 | TXSP800 | TXSP1000 |
|---|
| 抽气速度 | l/s(升/秒) | 1.1 | 2 | 4.3 | 8.7 | 12 | 16.6 |
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| l/min(升/分钟) | 66 | 120 | 258 | 522 | 720 | 996 |
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| m³/h(立方米/小时) | 4 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 43.2 | 59.8 |
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| cfm(立方英尺/分钟) | 2.3 | 4.2 | 9.1 | 18.4 | 25.4 | 35.2 |
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| 极限真空度 | Pa(帕斯卡) | ≤8 | ≤5 | ≤2.6 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
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| mbar(毫巴) | ≤8.0×10⁻² | ≤5.0×10⁻² | ≤2.6×10⁻² | ≤1.0×10⁻² | ≤1.0×10⁻² | ≤1.0×10⁻² |
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| Torr(托) | ≤6.0×10⁻² | ≤3.8×10⁻² | ≤2.0×10⁻² | ≤7.5×10⁻³ | ≤7.5×10⁻³ | ≤7.5×10⁻³ |
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| psi(磅/平方英寸) | ≤1.2×10⁻³ | ≤7.2×10⁻⁴ | ≤3.8×10⁻⁴ | ≤1.5×10⁻⁴ | ≤1.5×10⁻⁴ | ≤1.5×10⁻⁴ |
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| 噪音 | dB(A)(A计权分贝) | ≤54 | ≤57 | ≤63 | ≤63 | ≤65 | ≤67 |
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| 漏率 | mbar·l/s(毫巴·升/秒) | 1×10⁻⁶
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| 最大进/排气压力 | 大气压 | 1 / 1.3 |
| 工作环境温度 | ℃(摄氏度) | 5~40 |
| 单相电机 | 功率 | kW(千瓦) | 0.2 | 0.55 | 0.75 | -- | -- |
| 电压 | V(伏特) | 220 (50/60Hz) | 100/115/200/230(50/60Hz)、100-240(50/60Hz) | 230(50/60Hz)、110(60Hz) | -- | -- |
| 转速 | rpm(转/分钟) | 1425 (50Hz)/1725 (60Hz) | -- | -- |
| 连接插头 | 国标、北美、欧洲、英国、爱尔兰、印度等 | -- | -- |
| 三相电机 | 功率 | kW(千瓦) | 0.2 | 0.55 |
| 0.75 | 1.1 | 1.5 |
| 电压 | V(伏特) | 380(50/60Hz) | 200-240(50/60Hz)、380-415(50Hz)、380-460(60Hz) | 380-415(50Hz)、380-460(60Hz) |
| 转速 | rpm(转/分钟) | 1425(50Hz),1725(60Hz) |
| 进/排气口法兰 |
| KF25/KF25 | KF25/KF25 | KF25/KF25 | KF40/KF25 | KF40/KF25 | KF40/KF25 |
| 外形尺寸 | 单相 | mm(毫米) | 356*213*253 | 450*260*297 | 493*297*335 | 525*315*348 | -- | -- |
| 三相 | mm(毫米) | 356*213*253 | 448*263*284 | 486*307*335 | 512*326*355 | 565*369*397 | 576*436*402 |
| 净重 | 单相 | kg(千克) | 15 | 21 | 28 | 36 | -- | -- |
| 三相 | kg(千克) | 15 | 21 | 28 | 36 | 40 | 54 |
| 冷却形式 |
| 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
| 其他 |
| 带气镇 | 带气镇 | 带气镇 | 带气镇 | 带气镇 | 带气镇 |
结构尺寸:

| 型号 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | F(mm) | G(mm) | H(mm) | K(mm) | L(mm) | M(mm) | N(mm) | P(mm) | Q(mm) | d1 | d2 |
|---|
| TXSP75 | 356 | 213 | 253 | Ø185 | 174 | 101 | 58 | 116 | 120 | 87 | 137 | 210 | 104 | Ø8 | KF25 | KF25 |
| TXSP150 | 450 | 260 | 297 | Ø220 | 214 | 119 | 80 | 151 | 135 | 97 | 155 | 250 | 123 | Ø9 | KF25 | KF25 |
| TXSP300 | 493 | 297 | 335 | Ø262 | 252 | 156 | 85 | 172 | 156 | 114 | 192 | 288 | 147 | Ø10 | KF25 | KF25 |
| TXSP600 | 525 | 315 | 348 | Ø291 | 252 | 160 | 108 | 175 | 174 | 135 | 206 | 288 | 168 | Ø11 | KF40 | KF25 |
| TXSP800 | 567 | 363 | 402 | Ø336 | 267 | 184 | 115 | 166 | 195 | 136 | 224 | 303 | 167 | Ø12 | KF40 | KF25 |
| TXSP1000 | 576 | 436 | 402 | Ø357 | 267 | 184 | 124 | 195 | 232 | 136 | 224 | 303 | 120 | Ø12 | KF40 | KF25 |
性能曲线:

应用领域:
半导体/电子行业:分子泵前级、晶圆制程、等离子清洗、真空镀膜前级,提供洁净前级真空。
分析仪器行业:质谱仪、扫描电镜、XPS等精密仪器配套,无油污染保障样品原始状态。
医疗制药行业:无菌包装、冻干机、灭菌设备、生物反应器,满足无菌无油要求。
食品包装行业:真空包装、保鲜处理、脱气设备,无油无污染保障食品安全。
科研实验室:真空实验、材料测试、环境模拟,适配小型洁净真空系统。
为何选择TXSP系列无油涡旋真空泵:
TXSP系列无油涡旋真空泵,是太星真空针对高洁净、无油污染、稳定可靠需求打造的干式真空设备,核心优势在于 "洁净无油与高效稳定的完美融合"。
洁净无油无污染:全程无油运行,彻底杜绝油污染,满足半导体、医药等高洁净场景。
高效节能低成本:涡旋结构效率高,能耗低,无需冷却水,长期运行电费显著降低。
免维护省心力:无油无接触设计,无易损件,无需换油,日常仅需检查通风。
低噪低振适配广:噪音低、振动小,适配实验室、洁净室等安静精密环境。
高性价比可靠:国产价格,进口品质,结构强韧,故障率低,长期稳定运行。
常见问题解答:
与油旋片泵相比有何优势? TXSP全程无油,无油污染、免维护、低噪,无需换油,不污染工件/样品,寿命更长。
可以抽水蒸气吗? 可抽≤40mbar(毫巴)水蒸气,高湿工况建议加汽水分离器,避免凝液进入泵腔。
能否作为分子泵前级? 可以,抽速匹配,极限真空达标,洁净无油,是分子泵理想前级泵。
安装有方向要求吗? 水平安装为主,允许 ±15°倾斜,无需专用地基,普通台面即可。
维护周期多久? 正常工况免维护,每月检查进气过滤器与散热,无易损件,轴承寿命40000h。
产品总结:
TXSP系列无油涡旋真空泵以洁净无油、高效稳定、低噪免维护、长寿命为核心竞争力,重新定义干式真空泵选型标准。设备融合精密涡旋技术与无油设计,解决传统油泵污染、维护繁、寿命短痛点,覆盖半导体、医疗、食品、科研等全场景。从精密仪器到工业生产,TXSP提供 "净、稳、省、静" 真空方案,成为洁净真空领域标杆产品。