本款油润滑TXFB系列涡轮分子真空泵，是厦门太星真空专为中高真空、工业级稳定工况研发的经济型真空获得设备。采用多级涡轮转子-定子结构 + 油润滑机械轴承设计，集成外置润滑系统与简易控制单元，可提供600--1600 L/s的宽域抽速，极限真空可达5×10^-7Pa，适配分子流至过渡流区间。设备具备结构稳固、散热优良、维护简便、性价比高等核心优势，广泛应用于真空镀膜、冶金热处理、电子器件、科研实验等领域，是磁悬浮涡轮分子真空泵的经济替代与传统扩散泵的节能升级设备。

核心特点

油润滑轴承稳定耐用：前级真空端采用油润滑陶瓷球轴承，高真空端配永磁径向轴承，转子运转平稳；强制油循环润滑，散热效率高，轴承设计寿命20000 h，适配长期连续运行。
宽域抽速大流量：抽速覆盖200--5500 L/s，从小型实验腔体到大型工业镀膜线全适配；对氮气压缩比达1×10³，轻气体（H₂/He）抽气性能优异。
中高真空稳定获得：极限真空5×10^-7Pa，无需冷阱/油挡板即可获得洁净高真空；允许前级耐压高（≤300 Pa），适配多种前级泵组合。
经济高效维护简便：结构简单、造价低，同抽速下成本为磁悬浮分子真空泵的50%--70%；润滑系统外置，换油便捷，日常维护仅需检查油位与冷却状态。
运行可靠抗恶劣工况：全金属密封设计，过流部件标配不锈钢304，可选316L适配轻度腐蚀性气体；可在粉尘、潮湿等恶劣环境稳定运行。
低噪低振安全性好：动平衡优化转子，运行噪音≤70 dB，振动≤0.2 mm/s；内置过速保护与断电停机保护，适配工业连续生产场景。
安装灵活适配性强：模块化设计，结构紧凑，重量25--180 kg；竖直安装为主，部分型号支持小角度倾斜，法兰标准KF/ISO-K/ISO-CF，适配各类真空腔体。
智能基础控制可选：配套简易变频控制器，支持转速调节、启停控制、故障报警；可选远程监控模块，适配自动化生产线需求。

性能参数表

型号	单位	TXFB-600		TXFB-1200		TXFB-1600
进气口法兰		CF160	ISO-K160	CF200	ISO-K200	CF250	ISO-K250
排气口法兰		KF40				KF50
抽速	L/S	600		1200		1600
压缩比	N₂	>1×10⁹
压缩比	H₂	>1×10³
极限压强	Pa	1.2×10^-7	5×10^-7	1.2×10^-7	5×10^-7	1.2×10^-7	5×10^-7
电机转数	rmp	27000/24000风冷(Aircooling)
振动值	um	≤0.1				≤0.1
启动时间	min	<4.5		<5		<6
建议采用的前级泵	L/S	4-8		8-15		15
冷却方式		水冷/风冷
电源电压	V	220AC
额定功率	W	500
安装方向		垂直±5°
泵重量	Kg	≈25		≈33		≈38

尺寸参数表

型号	水冷						风冷
	TXFB-600		TXFB-1200		TXFB-1600		TXFB-600		TXFB-1200		TXFB-1600
高真空法兰	CF160	ISO-K160	CF200	ISO-K200	CF250	ISO-K250	CF160	ISO-K160	CF200	ISO-K200	CF250	ISO-K250
D1	Φ202	Φ180	Φ253	Φ240	Φ305	Φ290	Φ202	Φ180	Φ253	Φ240	Φ305	Φ290
D2	Φ212	Φ212	Φ243	Φ243	Φ274	Φ274	Φ212	Φ212	Φ243	Φ243	Φ274	Φ274
D3	Φ236	Φ236	Φ266	Φ266	Φ296	Φ296	Φ236	Φ236	Φ266	Φ266	Φ296	Φ296
H1	375	374	403	405	393	393	455	455	475	475	468	465
H2	235	236	262	265	250	250	237	238	260	262	253	250
H3	238	239	262	265	250	250	239	240	267	265	253	250
H4	108	108	113	113	110	110	151	151	151	151	153	153
L1	130	130	145	145	160	160	130	130	145	145	160	160
L2	137	137	152	152	166	166	137	137	152	152	166	166
L3	146	146	168	168	184	184	146	146	168	168	184	184

抽速曲线

pumping speed curve of oil lubrication series turbo molecular pump.jpg

安装尺寸

installation drawing of oil lubrication series turbo molecular pump.jpg

应用领域

真空镀膜行业：ITO镀膜、磁控溅射、装饰镀膜、真空蒸镀等制程的中高真空腔体，提供稳定真空环境，性价比突出。
冶金与热处理行业：真空炉、退火炉、烧结炉的真空系统，适配高温、粉尘工况，长期运行稳定可靠。
电子与半导体行业：电子管、显像管、光伏电池等器件的真空排气与封装，满足中高真空洁净度要求。
科研与高校实验室：表面分析、真空物理、材料科学实验等中高真空环境，经济适配科研预算需求。
通用工业真空领域：真空干燥、真空浸渍、检漏系统配套，替代传统扩散泵，节能40%+且维护简便。

为何选择油润滑TXFB系列涡轮分子真空泵？

油润滑TXFB系列涡轮分子真空泵是太星真空针对 "中高真空、稳定耐用、经济省心" 需求打造的核心经济型涡轮分子真空泵设备，核心优势在于 "稳定性能与低成本运维的完美融合"。

经济实惠性价比高：设备造价远低于磁悬浮分子真空泵，维护成本低，换油周期长（5000 h / 次），长期使用综合成本最低。
稳定耐用适配工业：油润滑轴承散热好、承载力强，可长期连续运行；抗粉尘、抗潮湿，适配工业现场恶劣工况。
中高真空性能可靠：极限真空达10^-7 Pa级，压缩比高，满足绝大多数工业与科研中高真空需求。
维护简单上手容易：润滑系统外置，换油、检查便捷；无复杂控制，操作简单，普通运维人员即可维护。
适配灵活组合多样：可搭配旋片泵、螺杆泵等多种前级真空泵；法兰标准通用，安装便捷，适配各类真空系统改造与新建项目。

常见问题解答

与磁悬浮分子真空泵相比有何优势？ TXM‑O采用油润滑机械轴承，造价低、维护简单、抗恶劣工况强；适合预算有限、无需超高洁净度的中高真空场景，长期运行稳定性好。
需要搭配前级泵吗？如何选择？ 需要搭配旋片泵 / 螺杆干泵，将系统预抽至≤10 Pa后启动涡轮分子真空泵；前级泵抽速建议为分子真空泵排气量的3--5倍，油润滑与干式前级泵均可适配。
可以输送含粉尘 / 腐蚀性气体吗？ 可输送微量粉尘气体（进气口加装 0.5 μm过滤器）；轻度腐蚀性气体需选316L不锈钢过流部件型号，避免强酸碱/卤素气体长期直接接触。
安装对地基 / 方向有要求吗？ 需竖直安装在水平坚固地基上，配备减震垫减少振动；环境温度0--40°C，通风良好，远离强电磁干扰与剧烈振动源。
维护周期多久？需要更换哪些配件？ 日常每500 h检查油位与油质；每5000 h更换专用真空泵油；轴承寿命约20000 h，到期需更换轴承套件，无其他易损件。

产品总结

油润滑TXFB系列涡轮分子真空泵以中高真空、稳定耐用、经济高效、维护简便为核心竞争力，重新定义了工业级经济型涡轮分子真空泵的选型标准。设备融合太星真空涡轮流体设计与精密机械制造工艺，既解决了传统扩散泵能耗高、污染大、维护复杂的痛点，又以稳定性能、亲民价格覆盖从工业镀膜到科研实验的全场景需求。从真空炉的热处理环境到镀膜车间的工艺真空，油润滑TXFB系列涡轮分子真空泵都能提供 "稳、省、易" 的真空解决方案，成为太星真空在中高真空领域的核心经济型标杆产品。

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