TXFB系列一体系列高真空磁悬浮涡轮分子真空泵，是厦门太星真空机电专为高洁净、超高真空（UHV，超高真空）工况研发的一体化真空获得设备。采用多级涡轮转子-定子堆叠+磁悬浮轴承核心结构，集成驱动电源与智能控制单元，可提供700--2000 L/s的宽域抽速，极限真空可达5×10⁷Pa（无油洁净），适配分子流至过渡流区间。设备具备无油污染、高压缩比、长寿命、免维护、低振动等核心优势，广泛应用于半导体镀膜、表面分析、质谱仪器、科研加速器等领域，是替代进口涡轮分子真空泵、扩散泵的国产高端节能升级设备。
磁悬浮无接触高能效：五自由度磁悬浮轴承，转子无机械摩擦，最高转速42000 RPM（转每分钟），全工况稳定；多级涡轮叶片一体化成型，压缩比达10⁷--10⁸，对轻气体（H₂/氢气、He/氦气）抽气效率优异。
一体化集成免维护：泵体、驱动电源、控制器三合一集成，无外接线缆；无油润滑设计，无易损件，轴承设计寿命40000 h（小时），密封寿命20 年，长期运行零维护成本。
超高真空洁净无油：全程无油运行，无油蒸气返流，满足半导体、分析仪器级洁净真空要求，无需冷阱/油挡板。
宽域抽速适配强：抽速覆盖55--1450 L/s（升每秒），从小型质谱到大型镀膜线全适配；前级耐压高（≤10 Pa（帕斯卡）），可直连干式前级泵，无需多级预抽。
智能控制安全可靠：内置变频驱动与故障自诊断，支持远程启停/状态监控/转速调节；断电自发电安全停机，陶瓷辅助轴承防转子跌落，抗电磁干扰强。
低噪低振运行稳定：磁悬浮+动平衡优化，运行噪音≤65 dB（分贝），振动≤0.1 mm/s（毫米每秒），远低于机械轴承分子真空泵，适配精密仪器与实验室环境。
防腐耐用材质可选：过流部件标配铝合金/不锈钢 304，可选316L 不锈钢适配腐蚀性气体（如半导体刻蚀尾气），长期抗腐蚀、无颗粒脱落。
紧凑安装灵活占地小：模块化一体化设计，结构紧凑，重量12--75 kg（千克）；安装方向任意（水平/垂直/倒置），法兰标准KF（真空快卸法兰）/DN（公称通径法兰）/CF（刀口法兰），适配各类真空腔体。
| 型号 | 单位 | TXFB-700Y | TXFB-1300Y | TXFB-2000Y |
|---|
| 进气口法兰 | - | CF160（160口径刀口法兰） | ISO-K160（160口径ISO快装法兰） | CF200（200口径刀口法兰） | ISO-K200（200口径ISO快装法兰） | CF250（250口径刀口法兰） | ISO-K250（250口径ISO快装法兰） |
| 排气口法兰 | - | KF40（40口径真空快卸法兰） |
| 抽速 | L/s（升每秒） | 700 | 1300 | 2000 |
| 压缩比（N₂/氮气） | - | >1×10⁹ |
| 压缩比（H₂/氢气） | - | >1×10³ |
| 极限压强 | Pa（帕斯卡） | 1.2×10⁷ | 5×10⁷ | 1.2×10⁷ | 5×10⁷ | 1.2×10⁷ | 5×10⁷ |
| 电机转数 | rpm（转每分钟） | 27000 | 24000 | 24000 |
| 轴承 | - | 脂润滑陶瓷轴承 |
| 振动值 | um（微米） | ≤0.1 |
| 启动时间 | min（分钟） | <4.5 | <5 | <6 |
| 建议采用的前级泵 | L/s（升每秒） | 4-8 | 8-15 | 15 |
| 冷却方式 | - | 水冷 |
| 安装方向 | - | 任意角度 |
| 泵重量 | Kg（千克） | ≈24 | ≈34 | ≈36 |
| 全功率输入电压范围 | V（伏特） | 220AC（220伏交流电） |
| 额定功率 | W（瓦特） | 300 | 700 | 700 |
| 峰值功率 | W（瓦特） | 500 | 700 | 700 |
| 控制接口 | - | RS485（串行通讯标准） |
| 输出频率范围 | Hz（赫兹） | 0~450 | 0~400 | 0~400 |
| 保护功能 | - | 控制器过温、马达过温、过载、短路、过流、过压等 |
半导体/真空镀膜行业：晶圆刻蚀、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、磁控溅射、ITO（氧化铟锡）镀膜等制程的超高真空腔体，提供无油洁净真空，保障镀膜均匀性与良率。
表面分析与精密仪器：XPS（X射线光电子能谱）、AES（俄歇电子能谱）、SEM（扫描电子显微镜）、质谱仪、检漏仪等设备的核心真空单元，无油污染保障样品表面原始状态。
科研与高端实验室：粒子加速器、核聚变装置、空间模拟舱、材料科学实验等超高真空环境，适配长期稳定运行需求。
化工与环保行业：VOCs（挥发性有机物）深度回收、腐蚀性气体（如Cl₂/氯气、HCl/氯化氢）抽排、特种气体纯化，可选不锈钢材质适配复杂介质。
通用工业高端领域：精密光学、航天航空部件测试、新能源材料制备，替代传统扩散泵，节能30%+且无油污染。
TXFB系列一体系列高真空磁悬浮涡轮分子真空泵是太星真空针对 "超高真空、无油洁净、免维护" 需求打造的核心涡轮分子真空泵设备，核心优势在于 "国产替代、高效洁净与全场景适配的完美融合"。
性能比肩进口：磁悬浮技术+精密涡轮设计，极限真空、抽速、压缩比对标莱宝/普发，价格仅为进口品牌60%，性价比极高。
无油洁净零污染：全程无油运行，彻底杜绝油蒸气返流，满足半导体/分析仪器最高洁净度要求，无需额外冷阱/挡板。
一体化免维护省心：泵-电-控三合一，无外接部件；无易损件，终身免维护，仅需定期检查冷却通风，运维成本为零。
宽域适配灵活：抽速覆盖55--1450 L/s（升每秒），从小型仪器到大型工业线全适配；支持任意角度安装，法兰标准通用，适配各类真空系统。
安全稳定可靠：断电自发电停机+陶瓷辅助轴承，防转子跌落；低噪低振，抗电磁干扰，适配精密实验室与工业连续运行场景。
与传统机械轴承分子真空泵相比有何优势？ 采用磁悬浮无接触轴承，无磨损、免维护、寿命长；运行噪音低10--15 dB（分贝），振动更小；无油设计，洁净度更高，适配精密超高真空场景。
需要搭配前级泵吗？如何选择？ 需要搭配干式前级泵（如涡旋/螺杆干泵），将系统预抽至≤10 Pa（帕斯卡）后启动涡轮分子真空泵；前级泵抽速建议为涡轮分子真空泵排气量的2--5倍，优先选无油干泵保障洁净。
可以输送含粉尘/腐蚀性气体吗？ 可输送微量粉尘气体（进气口加装0.1 μm（微米）过滤器）；腐蚀性气体需选316L不锈钢过流部件型号，避免强酸碱/卤素气体长期直接接触。
安装对地基/环境有要求吗？ 无需专用地基，水平坚固台面即可；小型号（≤200L/s）无需减震垫，大型号建议配减震垫；环境温度0--40°C，通风良好，远离强电磁干扰。
维护周期多久？需要更换配件吗？ 终身免维护，无油润滑、无易损件；日常仅需每月检查冷却风扇/水冷管路通畅，每年校准一次转速与真空度，无需更换任何耗材。
TXFB系列一体系列高真空磁悬浮涡轮分子真空泵以超高真空、无油洁净、磁悬浮免维护、一体化集成为核心竞争力，重新定义了国产高端涡轮分子真空泵的选型标准。设备融合太星真空磁悬浮控制技术与精密流体力学设计，既解决了传统涡轮分子真空泵维护复杂、油污染、寿命短的痛点，又以进口级性能、国产价格覆盖从精密仪器到大型工业生产线的全场景需求。从半导体镀膜的洁净真空到科研实验室的超高真空，TXFB系列一体系列高真空磁悬浮涡轮分子真空泵都能提供 "净、稳、省" 的真空解决方案，成为太星真空在超高真空领域的核心标杆产品。
