TXFB-80C一体式涡轮分子真空泵是厦门太星机电自主研发的高真空、紧凑型分子真空泵机组,集成涡轮分子真空泵、智能驱动控制器与前级接口于一体,专为中小腔体快速获得清洁高真空而设计。整机采用高转速涡轮结构与高精度动平衡工艺,搭配集成化智能控制,具备抽速快、极限真空高、结构紧凑、免维护、安装灵活等优势,可替代传统分体式涡轮分子真空泵+控制器组合,广泛适配科研仪器、半导体、光学镀膜及精密工业等场景,是小型高真空系统的理想核心设备。
核心优势
TXFB-80C一体式涡轮分子真空泵聚焦小型化、高洁净、易使用需求,以一体化设计颠覆传统分体方案,核心优势在于 "性能与便捷的平衡":
省心省成本:集成设计省去控制器采购与布线,即插即用,大幅降低采购与安装成本。
洁净高真空:无油抽气,极限真空达 10⁶~10⁷ Pa级,满足精密工艺对真空洁净度的严苛要求。
稳定耐用:高转速动平衡+陶瓷轴承,振动小、噪音低、免维护,长期运行故障率低。
适配性强:任意角度安装,标准法兰接口,兼容多种前级泵,适配复杂现场布局。
智能安全:多重保护+故障自诊断,新手也能快速上手,保障设备与工艺安全。
从实验室精密仪器到小型工业镀膜,TXFB-80C 一体式涡轮分子真空泵都能提供 "快、净、稳、省"的高真空解决方案,是中小腔体高真空系统的首选核心设备。
核心特点
一体化集成设计:泵体、驱动控制器、保护电路集成一体,无需外接控制器,接线极简,即插即用,大幅节省安装空间与调试时间。
高真空抽气性能:氮抽速达 80 L/s,极限真空可达2×10⁶Pa,压缩比高(N₂>10⁸,H₂>10³),可快速获得无油清洁高真空。
高转速稳定运行:涡轮转子采用高强度合金,动平衡精度高,最高转速90000 rpm,运行振动小、噪音低(≤65 dB),长期稳定可靠。
智能安全控制:内置MCU智能控制系统,具备过流、过压、过热、过载、断相、防反接等多重保护,支持一键启停、故障自诊断与状态显示。
免维护长寿命:采用进口高精度陶瓷轴承,油脂润滑密封设计,运行中无需加油,维护周期长,正常工况寿命可达40000 小时以上。
灵活安装适配:支持任意角度安装(水平/垂直/倾斜),法兰接口标准(DN63 ISO-K),适配多种前级泵(旋片泵、干泵)。
低功耗高效能:整机功耗≤350 W,启动快(室温下≤3 min),待机能耗低,适配连续或间歇工作场景。
清洁无油环境:分子流抽气,无油污染,无记忆效应,适配对真空洁净度要求高的工艺。
性能参数表
| 参数项 | TXFB-80C |
|---|
| 进气口法兰 | CF63 / ISO-K63 |
| 排气口法兰 | KF16 |
| 抽速(N₂) | 80 L/S |
| 压缩比(N₂) | >1×10⁸ |
| 压缩比(H₂) | >1×10³ |
| 极限压强 | 2×10⁶Pa |
| 电机转数 | 60000 rpm |
| 轴承类型 | 复合式永磁轴承 |
| 振动值 | ≤0.1μm |
| 启动时间 | <2 min |
| 建议采用的前级泵 | 0.5--2 L/S |
| 冷却方式 | 水冷 / 风冷 |
| 安装方向 | 任意角度 |
| 泵重量 | ≈4.7 Kg / ≈2.5 Kg(两种规格) |
| 全功率输入电压范围 | 24 VDC |
| 额定功率 | 80 W |
| 峰值功率 | 100 W(10s) |
| 控制接口 | RS485(工业串行通讯接口) |
| 输出频率范围 | 0--1000 Hz |
| 保护功能 | 控制器过温、马达过温、过载、短路、过流、过压等 |
抽速曲线

安装尺寸图

应用领域
科研与分析仪器:质谱仪、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、表面分析设备、真空测试系统等。
半导体与微电子:小型真空镀膜、离子注入、真空封装、电子元件真空干燥等。
光学与镀膜:光学镜片镀膜、真空溅射、装饰镀膜、小型PVD(物理气相沉积)设备等。
精密工业:真空焊接、真空热处理、真空检漏、小型真空腔体配套等。
高校与实验室:真空物理实验、材料科学实验、小型模拟真空环境等。
常见问题解答
需要配前级泵吗? 需要,建议配套抽速 4~8 m³/h的旋片泵或干泵,作为前级预抽,可快速启动并达到高真空。
可以 24 小时连续运行吗? 可以,整机按工业级连续运行设计,散热良好,在额定工况下可长期稳定运行。
维护周期多久? 正常清洁工况下免维护,建议每12个月检查一次轴承状态,油脂寿命长,无需频繁更换。
可以抽腐蚀性气体吗? 不适用于强腐蚀、含卤素或聚合性气体;轻微腐蚀性气体需加装气体净化装置并咨询厂家。
安装有方向要求吗? 无方向限制,支持水平、垂直、倾斜任意角度安装,适应不同腔体接口位置。
产品总结
TXFB-80C一体式涡轮分子真空泵以一体化集成、高真空性能、免维护设计、灵活安装为核心竞争力,解决传统分体涡轮分子真空泵安装复杂、维护繁琐、空间占用大的痛点。凭借紧凑结构、高抽速、高极限真空与智能控制,适配科研、半导体、光学镀膜等多领域中小腔体高真空需求,是一款兼具高性能、高可靠性与高性价比的国产一体式涡轮分子真空泵标杆产品。