本款高性能 **SIP-U系列二极溅射离子泵**，是利用二极溅射与离子吸附原理实现抽气的全金属超高真空获得设备，全程**无油、无振动、无噪音、无介质挥发**，极限真空最高可达 **5×10⁻⁹ Pa**，广泛应用于高能物理、航天模拟、粒子加速器、表面分析、半导体设备、科研实验室等**超高真空与极高洁净度**场景，是高端真空系统中实现极限真空与长期静态密封的核心优选设备。**太星真空**的SIP-U系列凭借其卓越性能，成为行业标杆。
**核心特点**：
**无油超高洁净**：全金属结构、无油运行、无挥发、无返油，可获得 **5×10⁻⁹ Pa 级**超洁净真空环境。
**极限真空极高**：极限压强最高达 **5×10⁻⁹ Pa**，满足超高真空与极高真空严苛需求。
**长期免维护**：无运动部件、无磨损、无耗材，正常使用可实现 **50000 小时**超长寿命。
**零振动零噪音**：无电机、无转子、无运转部件，完全静音运行，不干扰精密探测与光学系统。
**高可靠性长寿命**：钛阴极溅射吸附原理，惰性气体与活性气体双效抽除，稳定性极强。
**烘烤型可定制**：支持 **≤300℃** 高温烘烤，快速脱气，轻松实现 **10⁻⁹ Pa 级**极限真空。
**宽抽速范围覆盖**：氮气抽速覆盖 **3~2500 L/s**，从小尺寸探头到大型真空系统全覆盖。
**高压安全驱动**：标准工作电压 **≤+7 kV**，配套过流保护，高压联锁安全可靠。
**性能参数表**：
| 泵型号 | 氮气（N₂）再生抽速（L/S）at 8×10⁻⁴Pa | 氮气（N₂）饱和抽速（L/S）at 8×10⁻⁴Pa | 极限压强（Pa） | 保护电流（mA） | 烘烤温度（℃） | 内置烘烤功率（W） | 入口法兰 | 外形尺寸（mm）（L×W×H） | 重量（Kg） |
|---|
| SIP003U | 3 | 3 | ≤9×10⁻⁷ | 5 | ------ | ------ | CF16 | 95.8×41.4×54.1 | 0.3 |
| SIP005U | 5 | 5 | ≤9×10⁻⁷ | 5 | ------ | ------ | CF40 | 105.2×75×106.5 | 2 |
**抽速-真空度曲线**：
**应用领域**：
**表面分析仪器**：XPS、AES、TOF-SIMS 等超高真空分析系统。
**高能物理装置**：粒子加速器、对撞机、储存环、束流管道真空系统。
**空间环境模拟**：太空真空与热真空环境试验设备。
**量子精密测量**：原子钟、量子计算机、冷原子物理实验装置。
**半导体与微电子**：晶圆键合、外延、薄膜沉积、超高真空制程设备。
**科研实验室**：高校、研究所超高真空平台、材料科学、物理基础研究。
**真空计量与校准**：标准真空漏率、真空规校准、极高真空基准系统。
**长期密封真空舱**：卫星载荷、超导腔体、长期在轨密封真空设备。
**为何选择 SIP-U系列二极溅射离子泵？**
SIP-U系列是专为**超高真空、极高洁净、长期稳定**场景打造的无油真空设备，核心优势在于**全金属无油结构**，可稳定获得 **5×10⁻⁹ Pa 级**极限真空；无运动部件、零振动、零噪音，完全不干扰精密探测；支持高温烘烤，快速达到极限真空；寿命长达 **5 万小时**，几乎免维护。设备抽速覆盖 **3~2500 L/s**，法兰规格从 CF16 至 CF300 全覆盖，可完美匹配从微型探测装置到大型加速器束流管的各类超高真空系统。**了解更多真空解决方案**
**常见问题解答**：
核心用途是什么？
用于获得**超高/极高真空 + 100% 无油洁净**环境，是振动敏感、长期密封、超高真空场景的首选泵。
极限真空与抽速范围是多少？
极限真空最高 **5×10⁻⁹ Pa**，氮气抽速 **3~2500 L/s**，覆盖微型装置到大型真空系统。
为何强调无油无污染？
无任何润滑油、密封油、挥发物，从原理上杜绝油分子干扰，满足半导体、表面分析、量子实验要求。
是否需要前级泵？
需要。建议在系统压力 **≤1×10⁻³ Pa** 后再启动离子泵，通常配分子泵 + 干泵作为前级。
烘烤的作用是什么？
≤300℃ 烘烤可快速脱附腔体与泵内气体，显著提升极限真空，实现 **10⁻⁹ Pa 级**稳定真空。
有无振动与噪音？
完全**无振动、无噪音**，是量子实验、光学检测、精密仪器的理想真空源。
寿命与维护如何？
无运动部件，正常工况寿命 **50000 小时**，**免维护、免更换、免加油**。
如何选型？
根据真空舱体积、目标真空度、允许振动水平、安装空间综合选型，特殊工况可定制。
**产品总结**：
SIP-U系列二极溅射离子泵集**无油洁净、超高真空、零振静音、超长寿命、免维护**于一体，是超高/极高真空领域的标杆级设备。依靠二极钛溅射吸附原理实现 **5×10⁻⁹ Pa** 极限真空，全金属结构确保极致洁净，无运动部件带来极致稳定与安静。无论是尖端科研、高能物理、量子装备，还是半导体制程与空间模拟，SIP-U系列都能提供**安静、洁净、长期、免维护**的极限真空解决方案，凭借 "**超高真空 + 极致洁净 + 超高可靠**" 成为高端真空领域的首选设备。**立即咨询专业团队**获取定制方案。
