本款2L/3L系列溅射离子真空泵，是专为超高真空需求打造的无油洁净型真空设备，分为常规结构（2L系列）与三极结构（3L系列），核心基于潘宁放电原理与钛膜吸气技术设计。设备极限压力低至1×10-8 Pa，抽速覆盖21~450 L/s，具备清洁无污染、零噪音、零振动、操作便捷等核心优势。2L系列适配无惰性气体的高洁净场景，3L系列通过三极结构优化惰性气体抽排，广泛应用于科研实验、半导体制造、精密检测、高能物理等领域，是超高真空系统的核心主泵设备。
超高真空性能：极限压力普遍达7×10-8 Pa，高端型号（2L-200C/400C、3L-400C）可达1×10-8 Pa，满足高能粒子加速器、半导体检测等严苛真空需求。
清洁无油污染：全程无油参与抽真空过程，无油蒸气残留与机械磨损杂质，泵体及接触部件采用304不锈钢、纯钛等洁净材质，保障真空环境纯度。
双系列精准适配：
2L系列（常规结构）：聚焦无惰性气体场景，结构简洁、性价比高，氩气抽速满足常规少量惰性气体残留处理；
3L系列（三极结构）：惰性气体抽速较同规格2L系列提升18.9~20倍，氩气抽速最高达85 L/s，适配含氩气的实验与工业设备。
零噪零振运行：无机械转动部件，工作时仅存在可忽略的电离声，无振动输出，避免干扰精密仪器运行与实验数据准确性。
长效稳定耐用：阴极钛板溅射形成的钛膜具备强吸气性，三极结构可减少阴极损耗，1×10-6 torr/mbar工况下寿命可达80000小时，维护周期长。
操作维护便捷：密闭系统中可独立运行，无需备用泵持续工作；日常仅需启停与状态监测，无需频繁更换耗材，维护成本低。
宽温适配灵活：带磁烘烤温度＜200℃，不带磁烘烤温度＜300℃，可通过烘烤加速气体释放，提升真空度，适配多元工况。
定制化能力强：支持工作电压（如-7KV定制）、防腐材质、特殊法兰等定制服务，可精准匹配客户个性化需求。
| 型号 | 法兰规格 | 抽速（空气） | 抽速（氩气） | 启动压力 | 极限压力 | 工作电压 | 电极单元数量 | 整体尺寸（长×宽×高） | 重量（kg） |
|---|
| 2L-25 | DN35CF | 22 L/s | 0.3 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | +7 KV | 1 个 | 222×121×161 mm | 8 |
| 2L-50 | DN100CF | 65 L/s | 0.6 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | +7 KV | 2 个 | 290×120×299 mm | 22 |
| 2L-100 | DN150CF | 120 L/s | 1.2 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | +7 KV | 4 个 | 350×250×307 mm | 38 |
| 2L-200B | DN150CF | 230 L/s | 2.4 L/s | ≤5×10-4 Pa | 2.7×10-8 Pa | +7 KV | 4 个 | 500×265×430 mm | 100 |
| 2L-200C | DN150CF | 220 L/s | 2.4 L/s | ≤5×10-4 Pa | 1×10-8 Pa | +7 KV | 4 个 | 500×265×430 mm | 100 |
| 2L-400C | DN150CF | 450 L/s | 4.5 L/s | ≤5×10-4 Pa | 1×10-8 Pa | +5 KV | 4 个 | 500×265×600 mm | 153 |
| 3L-25 | DN35CF | 21 L/s | 6 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | -5 KV | 1 个 | 222×121×161 mm | 8 |
| 3L-50 | DN100CF | 55 L/s | 12 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | -5 KV | 2 个 | 290×120×299 mm | 22 |
| 3L-100 | DN150CF | 110 L/s | 24 L/s | ≤5×10-4 Pa | 7×10-8 Pa | -5 KV | 4 个 | 350×250×307 mm | 38 |
| 3L-400C | DN150CF | 420 L/s | 85 L/s | ≤5×10-4 Pa | 1×10-8 Pa | -5 KV | 4 个 | 500×265×600 mm | 153 |
科研实验领域：高能粒子加速器、受控热核反应装置、小型质子加速器、惰性气体环境材料表征，适配宽温域与高精度真空需求。
半导体与电子领域：半导体晶圆检测、真空镀膜、离子注入、OLED封装、电子显微镜（透射电镜/扫描电镜），保障高洁净真空环境。
工业生产领域：电真空器件（真空电子管、微波器件）、氩气氛围真空镀膜、真空炉前抽排、电真空器件生产，适配含惰性气体或高洁净工况。
精密检测领域：质谱仪、桌面级质谱仪、气体成分分析设备，减少背景气体干扰，提升检测灵敏度。
其他高端领域：航天航空风洞实验、空间环境模拟、核电工业凝汽抽真空，耐受严苛工况，稳定提供超高真空。
该系列是超高真空领域的标杆设备，核心优势在于超高真空性能与场景化适配的完美融合。无油洁净设计解决了传统油润滑真空泵的污染痛点，零噪零振特性保障了精密设备与实验的稳定性；2L与3L双系列布局，可分别满足无惰性气体与含惰性气体场景的精准需求，避免功能冗余或性能不足。相较于同类产品，其在真空度、使用寿命、维护便捷性上均有显著优势，且支持定制化服务，无论是科研实验室的小型实验装置，还是工业生产线的大型真空系统，都能提供稳定、高效、洁净的真空解决方案，成为高端真空应用的核心优选。
2L系列与3L系列如何选择？
无惰性气体或仅少量残留：选2L系列，性价比更高；
含氩气等惰性气体且需高效抽排：选3L系列，三极结构可大幅提升惰性气体抽速。
设备启动有什么要求？需先通过前级泵将真空腔压力降至≤5×10-4 Pa，再启动离子泵，避免高压击穿空气损坏电极。
烘烤温度的作用是什么？烘烤可加速泵体与真空腔内部吸附的气体释放，提升真空度；带磁状态下烘烤温度需＜200℃，不带磁可＜300℃。
能否处理腐蚀性气体？标准款适配常规气体，可通过定制特氟龙、哈氏合金等防腐涂层，处理强酸、强腐蚀气体，满足特殊工况需求。
维护重点是什么？定期检查法兰密封面清洁度与高压线缆绝缘性，每年校准一次真空度；避免长期在≥1×10-3 Pa高压下运行，延长阴极寿命。
定制化服务包含哪些？支持工作电压（如-7KV）、法兰规格、防腐材质、电极升级等定制，定制周期5~7个工作日，不影响核心性能。
使用寿命受哪些因素影响？主要受工作压力（高压下加速阴极损耗）、惰性气体浓度（高浓度加速钛膜饱和）影响，规范使用下可达80000小时。
与其他真空泵相比有何独特优势？相较于分子泵，其结构更简洁、维护成本更低；相较于扩散泵，无油污染、真空度更高，且无需配套冷凝系统，适用场景更广泛。
2L/3L系列溅射离子真空泵以超高真空、洁净无油、场景化适配、长效稳定为核心竞争力，重新定义了高端真空设备的标准。设备融合潘宁放电技术与钛膜吸气原理，通过2L与3L双系列精准覆盖不同工况需求，既解决了传统真空设备的污染、振动、真空度不足等痛点，又以零维护、长寿命、定制化等特性降低了全生命周期成本。从科研实验室的精密实验，到半导体行业的高端制造，再到工业领域的特殊真空需求，该系列都能提供稳定、高效、洁净的真空支持，凭借"高性能 + 高适配 + 高可靠"的核心优势，成为超高真空领域的信赖之选。
