TXL系列干式罗茨增压真空泵

产品概述

TXL系列干式罗茨增压真空泵是由太星真空专门开发的无油机械增压机组，适用于中高真空和大抽速应用。采用双转子同步非接触结构，设计与前级泵配合使用进行增压，抽速范围从250至5040 m³/h，极限压力低至0.001-0.01 mbar，非常适合中高真空增压系统。

这些泵具有大抽速、干式清洁运行、低噪音、低振动、无油污染和快速响应的特点。标准配置包括过载保护、止回阀、气镇阀和远程控制接口，性能稳定，维护最少。广泛用于真空镀膜、半导体、锂电池、真空炉、研究实验室、检漏仪、真空干燥等领域。它们是中高真空系统中增加抽速、缩短抽空时间、提高生产效率的核心增压设备。

核心特点

1. 干式无油，清洁无污染：泵腔内无润滑油；100%干式运行，无油烟或油气污染，满足半导体、锂电池、镀膜和研究的高清洁真空要求。

2. 双转子高流量高效率：同步非接触双转子提供250至5040 m³/h的抽速，大大提升系统抽气率，缩短抽空时间，提高生产率。

3. 宽范围高真空稳定性：极限压力低至0.001 mbar，工作范围宽。必须与前级泵配合使用，将低-中真空快速提升到高真空水平。

4. 低噪音低振动，运行平稳：优化的转子动平衡和机体结构将噪音降低到58 dB(A)。运行平稳无需基础固定，不会影响附近设备的精度。

5. 非接触结构，长使用寿命：转子与泵腔之间无接触、摩擦或磨损。连续使用寿命极长，故障率远低于油封泵，适合24/7工业运行。

6. 防回流安全稳定：内置止回阀和过载保护在停机时自动关闭气路，防止气体回流和转子反转，保护真空系统和前级泵。

7. 宽电压全球兼容：支持三相220/240V、380/415V、460V、690V全球电压，适应不同国家和地区的电源标准。

8. 易于安装，无需基础/无需水冷：结构紧凑，风冷。无需基础、水冷或油管；安装后即可使用，部署成本低，可任意角度安装。

性能规格

应用领域

1. 真空镀膜行业：PVD、CVD、磁控溅射、光学镀膜、装饰镀膜、卷对卷镀膜增压。

2. 半导体与电子：晶圆加工、刻蚀、封装、测试、高真空单元快速抽空。

3. 锂电池行业：真空电解液注入、真空干燥、真空脱气、真空炉、包装线抽气系统。

4. 真空炉与热处理：烧结炉、钎焊炉、退火炉、高真空脱气、净化炉。

5. 研究实验室与大学：高真空单元、检漏系统、真空蒸馏、测试平台、加速器。

6. 检漏与测试设备：真空检漏仪、气密性测试、真空校准、真空测试系统。

7. 工业高真空系统：真空吸附、真空消泡、真空干燥、真空浸渍、真空提升。

为什么选择TXL系列罗茨增压泵？

TXL系列是中高真空应用的经济型通用干式增压泵，具有突出优势：

• 100%干式无油，满足高端清洁制造要求。

• 非接触双转子结构，无磨损，超长寿命，极低故障率。

• 大抽速和快速响应，显著缩短抽空时间并提高效率。

• 低噪音低振动，适合实验室、精密设备和洁净室。

• 超易安装：无需基础、无需水冷、无需油管，现场成本最低。

• 完整型号范围，从小实验室到大型工业生产线，灵活选择且易于集成。

TXL系列为镀膜、半导体、锂电池、真空炉和研究系统提供稳定、高效、清洁、可靠的增压动力，成为世界上最受欢迎的干式罗茨增压泵之一。

常见问题解答

可以单独使用吗？

不能。TXL系列是增压泵，必须与前级泵（旋片泵、螺杆泵等）配合使用；不能单独抽气。

需要油或水冷吗？

不需要。所有型号都是干式、无油、风冷；无需油、水或管道，安装最简单。

如何防止气体回流？

内置止回阀+过载保护在停止时自动关闭气路，防止回流和转子反转，确保系统安全。

维护间隔是多少？

在正常条件下，每12个月检查法兰密封和电机状况。无需换油、滤芯或易损件。

可以连续运行24小时吗？

可以。TXL系列专为24/7连续重工业运行而设计，具有稳定的冷却和结构。

产品总结

TXL系列干式罗茨增压真空泵以干式清洁运行、大抽速、低噪音、长使用寿命和易于安装为核心优势，成为中高真空增压的标准工业选择。凭借成熟的结构、稳定的性能和最少的维护，它们涵盖了从小型实验室高真空单元到大型工业高真空生产线的全场景应用，广泛用于真空镀膜、半导体、锂电池、真空炉、研究检漏等工业领域。

凭借高清洁度、高效率、长寿命和低成本的综合优势，TXL系列已成为世界上最受欢迎的干式罗茨增压泵之一。了解更多真空泵信息