Z系列油扩散喷射真空泵（油增压泵），是融合扩散与喷射技术的蒸气流式中真空设备，专为冶金、真空镀膜、电子等工业领域打造。设备工作压力范围覆盖10~10⁻² Pa，抽气速率达 2400~13000 L/s，极限压力低至≤5×10⁻³ Pa，通过油蒸汽射流实现气体抽排与增压，具备抽速大、临界前级压力适配性强、运行稳定等核心优势。泵体采用特殊拉伸工艺减少焊缝，搭配优化的喷嘴系统与循环冷却设计，广泛应用于真空熔炼、镀膜加工、电子元件制造等场景，是中真空系统的核心关键设备。

核心特点

• 双技术融合高效：整合扩散泵与喷射泵核心原理，扩散喷嘴保障高真空段大抽速，喷射喷嘴提升低真空段临界前级压力，全工作压力范围高效抽气，无需频繁切换设备。

• 中真空性能稳定：工作压力精准覆盖 10~10⁻² Pa，极限压力低至≤5×10⁻³ Pa，满足中真空工艺对真空度的严苛要求，抽气速率 2400~13000 L/s，适配不同体积真空腔体。

• 泵体结构可靠：采用特殊拉伸工艺制造，减少焊缝数量，提升泵体强度与密封性，降低气体释放风险，保障长期运行稳定性。

• 循环节能设计：加热系统将泵油升温产生蒸汽射流，冷却系统促使油蒸汽冷凝回流至泵底循环使用，油损耗低，节能效果显著。

• 系统适配灵活：推荐前级泵抽速 70~300 L/s，可与阀门、管道、机械泵快速组成中真空抽气系统，适配不同规模工业生产需求。

• 维护成本可控：泵油专用且用量固定（8.5~75 L），定期更换即可保障性能；关键部件结构简洁，磨损风险低，维护流程简便。

• 接口标准化：进气口径 300~630 mm、排气口径 65~150 mm，均为行业标准规格，安装连接便捷，可无缝适配现有真空管路系统。

• 工艺适配广泛：对多数工业气体抽排无选择性，适配冶金高温熔炼、镀膜膜层沉积、电子元件制造等多元工艺场景。

性能参数表

应用领域

• 冶金行业：真空熔炼炉、真空热处理炉等设备配套，提供中真空环境避免金属氧化，提升金属纯度与机械性能。

• 真空镀膜领域：真空镀膜机核心真空设备，为光学镜片、电子面板、装饰件等镀膜工艺提供稳定中真空，保障膜层均匀致密。

• 电子工业：芯片制造、电子管生产、半导体元件加工等场景，提供洁净中真空环境，满足高精度生产工艺要求。

• 通用工业领域：真空干燥、真空钎焊、材料表面改性等中真空需求场景，适配多元工业生产工艺。

为何选择 Z 系列油扩散喷射真空泵（油增压泵）？

Z系列是中真空领域的高效增压标杆设备，核心优势在于扩散与喷射技术融合的全工况适配性。双喷嘴系统解决了单一技术在不同真空段抽速不足的痛点，特殊工艺泵体保障了密封性与稳定性，标准化接口与灵活的系统配套能力，降低了工业部署门槛。相较于传统中真空泵，其在抽速、真空度稳定性、维护便捷性上均有显著优势，无论是冶金行业的高温熔炼，还是电子行业的精密制造，都能提供稳定、高效、经济的中真空解决方案，成为工业中真空系统的核心优选设备。

常见问题解答

1. 核心技术亮点是什么？融合扩散泵与喷射泵技术，扩散喷嘴 + 喷射喷嘴组合设计，兼顾高真空段大抽速与低真空段临界前级压力；特殊拉伸工艺泵体减少焊缝，提升密封性与强度。

2. 如何匹配前级泵？需严格按照推荐前级泵抽速选型（70~300 L/s），前级泵抽速不足会导致油增压泵无法达到额定真空度与抽速，影响工艺效果。

3. 泵油使用有什么要求？必须使用专用增压泵油，不可随意更换其他型号油液；定期检查油质与油量，油质浑浊或液位低于标准时及时更换 / 补充，避免影响抽气性能。

4. 安装时有哪些注意事项？需确保泵体水平放置，连接管路密封良好（避免气体泄漏）；预留足够维护空间，保障冷却水管路通畅，防止泵体过热。

5. 维护重点是什么？定期更换增压泵油（建议每 3~6 个月一次，根据使用频率调整）；检查冷却系统是否堵塞、漏水，定期清洗冷却管路；查看泵体与喷嘴是否有磨损，及时维修更换。

6. 与高真空泵有何区别？Z 系列聚焦中真空（10~10⁻² Pa），抽速大、适配工况广、成本可控；高真空泵（如分子泵、扩散泵）真空度更高（≤10⁻⁵ Pa），但成本与维护要求更高，适用于更严苛的超高真空场景。

产品总结

Z系列油扩散喷射真空泵（油增压泵）以双技术融合、中真空稳定、结构可靠、适配广泛为核心竞争力，重新定义了中真空设备的性能标准。设备整合扩散与喷射技术优势，既解决了单一技术的性能局限，又以特殊工艺泵体、循环节能设计、标准化接口等特性，降低了工业应用门槛。从冶金行业的真空熔炼到电子行业的精密制造，从真空镀膜的膜层沉积到通用工业的真空处理，Z系列都能提供稳定、高效、经济的中真空支持，凭借 "高性能 + 高稳定 + 高适配" 的核心优势，成为工业中真空领域的信赖之选。