本款XKC系列高真空油扩散泵，是厦门太星机电专为高端工业制造与科研实验打造的五级高真空设备。该系列可稳定获得≤5×10⁻⁵ Pa的超高真空，工作范围极宽，在1.3×10⁻¹ Pa低压区间仍保持较大抽速，临界前级压力高达≥60 Pa，对前级泵要求更宽松。设备内置水冷挡油帽，返油率低至≤5×10⁻³ mg/cm²·min，结合启动快、抽速大的核心优势，是真空热处理、钎焊、真空镀膜及航空航天领域最理想的高真空获得设备。
核心特点
五级泵体超强真空：采用五级串联式泵芯结构，蒸汽流路优化，极限压力低至≤5×10⁻⁵ Pa，轻松满足超高真空工艺的严苛标准。
宽域大抽速：抽速覆盖14000~28000 L/s，即使在1.3×10⁻¹ Pa的较高压力下仍具备较大抽气能力，大幅缩短大型腔体的抽气时间，提升生产效率。
低返油高洁净：内置水冷挡油帽与多级挡油设计，返油率控制在≤5×10⁻³ mg/cm²·min，有效避免油蒸气污染，保障镀膜质量与热处理工件纯度。
高临界前级压力：临界前级压力达≥60 Pa，大幅降低系统配套门槛，无需配置超高性能的前级泵，有效节省设备投资成本。
快速启动预热：启动迅速，配备标准油位观察装置，泵油升温快，可在短时间内达到额定工作状态，减少工艺准备周期。
节能稳定运行：加热功率12~18 kW，采用高效内加热设计，热损耗低、能耗可控；泵体采用精密制造工艺，运行稳定、噪音低。
通用维护省心：适配KS-3扩散泵油或275#硅油，泵油用量7~10 L，维护成本低廉；外型尺寸适配工业标准安装，移动与维护便捷。
全工况智能适配：抽速曲线平缓，对进气压力波动不敏感，适配真空熔炼、退火、钎焊、光学镀膜等多种高真空需求场景。
性能参数表
| Model | XKC-600 | XKT-650 | XKC-800 | XKC-650 | XKC-720 |
|---|
| Pumping Speed (L/S) | ≥14,000 | ≥18,400 | ≥28,000 | ≥21,200 | ≥23,000 |
| Ultimate Pressure (Pa) | ≤5×10⁻⁵ | ≤5×10⁻⁵ | ≤5×10⁻⁵ | ≤5×10⁻⁵ | ≤5×10⁻⁵ |
| Maximum Foreline Pressure (Pa) | 12 | 12 | 18 | 15 | 18 |
| Oil Backstreaming Rate (mg/cm²·min) | ≤5×10⁻³ | ≤5×10⁻³ | ≤5×10⁻³ | ≤5×10⁻³ | ≤5×10⁻³ |
| Heating Power (kW) | 7 | 10 | 15 | 18 | 8.5 |
| Operating Voltage (V) | 380 | 380 | 380 | 380 | 380 |
| Recommended Forepump Speed (L/S) | 140 | 140 | 300 | 300 | - |
| Pump Oil Type | KS-3 Diffusion Pump Oil or 275# Silicone Oil | KS-3 Diffusion Pump Oil or 275# Silicone Oil | KS-3 Diffusion Pump Oil or 275# Silicone Oil | KS-3 Diffusion Pump Oil or 275# Silicone Oil | KS-3 Diffusion Pump Oil or 275# Silicone Oil |
| Oil Capacity (L) | 7 | 7 | 10 | 8 | 8.5 |
| Dimensions (L×W×H mm) | 1100×710×1220 | 1155×750×1235 | 1253×1067×1740 | 1285×750×1290 | 1345×850×1315 |
应用领域
真空热处理行业：金属材料的真空淬火、退火、钎焊、固溶处理，提供超高真空环境防止金属氧化，提升工件机械性能与表面光洁度。
真空镀膜行业：光学镜片、装饰件、太阳能面板、半导体材料的真空沉积，低返油率保障膜层纯度与光学特性。
航空航天领域：航空材料真空模拟测试、航天器零部件真空处理，提供稳定的超高真空环境。
冶金行业：稀有金属真空熔炼、合金脱气，防止金属吸气与氧化，提高金属纯度。
科研实验领域：物理、化学、材料科学等实验室的超高真空实验设备配套，适配各种精密实验需求。
为何选择XKC系列高真空油扩散泵？
XKC系列是太星真空针对高端市场打造的旗舰级扩散泵，核心优势在于"超高真空性能与高性价比的完美平衡"。
性能越级：五级泵芯结合大抽速设计，在1.3×10⁻¹ Pa仍有较大抽速，真空度远超同类产品。
维护友好：低返油、标准接口设计，配合易获取的KS-3/275#硅油，维护成本远低于进口品牌。
系统适配：60 Pa的高临界前级压力，大幅降低了前级泵的配置要求，让整套真空系统的综合成本更具竞争力。
无论是大型工业生产线的镀膜加工，还是实验室的精密科研实验，XKC系列都能提供稳定、强劲、经济的高真空支持，是高端真空应用的首选品牌。
常见问题解答
XKC系列与普通扩散泵有何区别？XKC系列为五级泵体，抽速更高、真空性能更强，且临界前级压力高达60 Pa，对前级泵要求更低，适合大腔体与高要求工艺。
泵油可以混用吗？建议使用KS-3扩散泵油或275#硅油，不同型号泵油粘度与蒸汽压不同，严禁混用，以免影响真空度或损坏泵体。
如何搭配前级泵？请严格参考参数表，XKC-600/650需搭配140 L/s前级泵，XKC-800/720需搭配300 L/s前级泵，确保前级压力稳定在60 Pa以下。
返油率低有什么好处？返油率低至5×10⁻³ mg/cm²・min，可有效避免油污污染腔体，特别适合光学镀膜、半导体外延等对油污极其敏感的工艺。
运行噪音大吗？泵体经过严格的声学优化，运行噪音控制在工业标准范围内，配合水冷系统，运行稳定无剧烈震动。
产品总结
XKC系列高真空油扩散泵以五级大抽速、低返油洁净、高临界前级压力、节能省心为核心竞争力，重新定义了国产高真空油扩散泵的行业标准。设备融合太星真空成熟的制造工艺与技术创新，既解决了传统扩散泵维护复杂、成本高昂的痛点，又以卓越的真空性能适配冶金、镀膜、航天等高端领域。从大型真空炉的批量生产到实验室的微观实验，XKC系列都能提供"稳、快、省"的高真空解决方案，成为太星真空在高端真空市场的核心标杆产品。
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对于需要配套前级泵的客户，我们推荐选用高品质的旋片式真空泵作为前级预抽设备，确保整个真空系统的最佳性能表现。
如果您对扩散泵油的选择有疑问，我们的技术团队可以为您提供详细的泵油选型指导，帮助您选择最适合的泵油类型。
针对大规模生产线应用，我们还提供定制化的真空系统解决方案，满足不同客户的特殊需求。
