EcoDry TD系列洁净干式多级罗茨真空泵由厦门太星机电（Taixing Vacuum）研发推出，定位为无油洁净、高稳定性、低运营成本的干式真空设备。该系列抽速覆盖7~100m³/h，极限真空可达1Pa，采用多级罗茨结构实现连续抽气与稳定真空输出，适用于对洁净度、维护周期、能耗与噪振控制要求更高的工况。

与传统油润滑真空系统相比，EcoDry TD系列主打“干式无油”，可显著降低油返污染风险，满足洁净工艺与敏感制程需求；同时具备5年免维护的设计目标，帮助用户减少停机与备件消耗，提升产线稼动率。设备在噪音与振动控制方面表现突出，适合实验室、研发平台以及对环境舒适度有要求的生产区域。

在冷却方式上，EcoDry TD系列采用全风冷设计，无需冷却水，安装部署更灵活，亦可减少水路配套、结垢与泄漏等系统风险；并支持处理可凝性气体，面向实际工艺中常见的蒸汽或可凝组分具有更强适应性。对于既有系统升级改造，该系列支持对标进口品牌原位替换，可在不大幅改造管路与工装的前提下实现快速升级；本地仓现货可快速发货，缩短到货周期。

如需了解选型、替换适配与应用建议，可访问厦门太星真空官网获取更多信息；也可在产品中心查看同类干式真空方案，并通过技术支持了解真空泵应用、维护与系统优化建议；若涉及备品备件与服务，可进一步参考售后与维修相关内容。

优势概览

• 洁净干式无油：降低油返与工艺污染风险，适配洁净制程与敏感工艺。

• 抽速范围广：7~100m³/h覆盖多类工位与设备配套需求。

• 极限真空高：极限真空可达1Pa，满足中高真空应用场景。

• 5年免维护：减少停机维护频次，降低综合使用成本。

• 低噪音低振动：更适合实验室、研发及对噪振敏感的生产环境。

• 全风冷：无需冷却水，安装简单、运维更省心。

• 可处理可凝性气体：面对含可凝组分工况更具适应性。

• 支持原位替换：可对标进口品牌，实现快速升级改造。

• 本地仓现货：可快速发货，缩短交付周期。

典型应用领域

• 新能源：电池材料处理、真空干燥、注液/封装相关配套真空。

• 半导体与电子：对洁净度要求高的工艺段及辅助真空系统。

• 实验室与科研：需要低噪、低振、洁净抽气的实验平台与仪器配套。

• 通用工业与工艺真空：需要无油、稳定真空且希望降低维护成本的场景。

主要参数（系列覆盖范围）

性能参数表

EcoDry TD系列通过“洁净干式+多级罗茨”的结构组合，在保证真空性能的同时兼顾稳定性与易用性，尤其适合希望减少油品管理、降低维护频次并提升洁净度的用户进行设备升级或新建系统配置。

机械结构

S - P 曲线

安装尺寸

EcoDryTD 系列多级罗茨泵全球品牌型号平替对标总表

注：Edwards nXDS 为涡旋泵，TD 系列（罗茨泵）通常作为其寿命更长、抗水汽能力更强的升级替代方案。