厦门太星机电有限公司推出的CRYO-P系列低温泵，是采用低温冷凝与低温吸附原理实现抽气的高洁净低温泵，属于无油真空泵范畴，全程无油介质参与工作，可获得无油污染的高洁净真空环境，满足高端制程与实验的真空需求，用户可通过CRYO-P系列低温泵咨询服务获取定制方案。
本款真空低温泵核心参数如下：
极限真空：≤1×10⁻⁷Pa
氮气抽速覆盖范围：1700L/s~28000L/s
冷板工作温度：一级冷板80K-100K，二级冷板10K-20K
可定制类型：高温烘烤型、耐腐蚀介质型、非标安装尺寸定制
冷头设计寿命：≥8年
该产品可覆盖多领域高真空需求，典型应用场景包括：
半导体制造领域：晶圆沉积、刻蚀、封装等制程，是目前主流的半导体真空泵选型方案，可有效避免油污染导致的良率下降问题
真空镀膜行业：光学镀膜、功能涂层制备、装饰镀膜等场景，作为专用真空镀膜真空泵使用，可保障膜层均匀性与附着度
航天科研领域：空间环境模拟舱、航天部件可靠性测试、真空热试验等场景
高端科研实验：粒子加速器、低温物理实验、新材料制备等对真空洁净度要求严苛的实验场景
| CRYO-P系列低温泵标准规格 |
| 型号 | CRYO-P8 | CRYO-P10 | CRYO-P12 | CRYO-P16 | CRYO-P20 | CRYO-P22 | CRYO-P28 | CRYO-P30 |
排气速度
（L/s） | 氮气 | 1,700 | 2,400 | 4,000 | 5,000 | 10,000 | 17,000 | 21,000 | 28,000 |
| 氢气 | 2,700 | 3,700 | 6,000 | 11,000 | 18,000 | 25,000 | 39,000 | 43,000 |
| 氩气 | 1,400 | 2,000 | 3,300 | 4,200 | 8,400 | 14,000 | 19,000 | 23,000 |
| 水 | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 16,000 | 29,000 | 39,000 | 57,000 | 70,000 |
最大流量
（Pa・L/s） | 氩气 | 1.2×10³ | 1.2×10³ | 2.0×10³ | 1.6×10³ | 1.7×10³ | 4.1×10³ | 1.7×10³ | 2.7×10³ |
| 氢气 | 2.4×10² | 1.5×10² | 4.1×10² | 4.5×10² | 4.7×10² | 1.3×10² | 5.0×10² | 8.6×10² |
排气量
（Pa・L） | 氩气 | 1.0×10⁸ | 1.0×10⁸ | 2.1×10⁸ | 4.3×10⁸ | 5.8×10⁸ | 8.1×10⁸ | 5.8×10⁸ | 7.8×10⁸ |
| 氢气 | 1.0×10⁶ | 1.2×10⁶ | 1.0×10⁶ | 2.4×10⁶ | 4.6×10⁶ | 8.5×10⁶ | 6.0×10⁶ | 1.5×10⁶ |
| 极限压力（Pa） | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ |
| 氦气填充压力 | 1.3±0.05 | 1.3±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 |
制冷时间
（min）(50Hz)
— | 100 | 112 | 100 | 120 | 160 | 165 | 180 | 240 |
针对不同行业的差异化工况需求，我司可提供定制化适配服务，用户可通过真空系统配套解决方案对接技术人员评估适配性。
选型建议与使用注意事项：
选型前需明确实际工况的极限真空要求、抽速需求、待抽气体组分、安装空间尺寸等核心参数，避免选型不符影响使用效果
首次安装使用前需完成泵体烘烤除气操作，保障真空洁净度符合要求
若使用场景存在大量可凝性气体或腐蚀性介质，需提前告知技术人员选择对应定制款设备
需按照设备说明书要求定期完成再生操作，避免泵内积冰或吸附饱和影响抽气性能
作为厂商，我司可面向用户提供选型、配送、安装、维护全流程服务，福建及周边地区可提供48小时上门响应。
常见问题解答：
Q：CRYO-P系列低温泵的再生周期一般是多久？
A：再生周期与实际使用工况的气体负载、可凝性气体占比直接相关，常规半导体制程场景下再生周期为30~90天，高负载场景可适当缩短周期。
Q：高洁净低温泵是否可以替代同规格的进口低温泵？
A：常规工况下可匹配同抽速规格的标准安装接口，如需替代可提供原有设备参数交由技术人员核验适配性，部分特殊场景可提供定制改装服务。
Q：无油真空泵相比有油真空泵有哪些优势？
A：无油真空泵无需使用油类介质作为工作液，不会产生油返流污染，适合对真空环境洁净度要求较高的半导体、镀膜、科研等场景使用。
Q：设备质保期是多久？
A：整机质保12个月，质保期内非人为损坏可提供免费维修更换服务，质保期后可提供终身成本价维护服务，用户可通过真空泵售后维护服务提交需求。.
结论：CRYO-P系列低温泵适合半导体制造、真空镀膜、科研院所等高洁净真空需求用户，优势是无油高洁净、极限真空可达10⁻⁷Pa、支持烘烤/耐腐蚀多类型定制。
