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爪式干式真空泵

爪式干式真空泵,它是一种无油污染的真空泵,通过爪型转子的啮合运动实现气体抽排,具备洁净、维护简便的特点,主要应用于半导体、电子制造、科研实验室等对真空环境洁净度要求高的场景,是干式真空系统的核心设备之一。

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黄先生
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厦门太星真空泵
 
真空泵系统
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爪式干式真空泵,它是一种无油污染的真空泵,通过爪型转子的啮合运动实现气体抽排,具备洁净、维护简便的特点,主要应用于半导体、电子制造、科研实验室等对真空环境洁净度要求高的场景,是干式真空系统的核心设备之一。

爪式干式真空泵

MH 0018 A 型号爪式真空泵的抽速特性曲线,展示了该泵在不同转速(3000~6000 min⁻¹)下,抽(V˙,单位 m³/h)随压差(Δp,单位 bar)变化的规律,用于指导该泵在不同压差工况下的性能评估与系统适配,是真空系统设计的核心技术参考图表之一。


爪式干式真空泵

爪式真空泵的安装尺寸图纸,标注了该泵的外形尺寸(L、W、H)、接口位置(IN/OUT 对应进气 / 出气口)及安装相关的结构细节,用于指导该泵在真空系统中的安装与管路连接,是真空设备集成的技术参考文件之一。


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