普发分子泵 HiPace80

普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 HiPace 系列涡轮分子泵及配套的控制单元（DCU）。涡轮分子泵用于获得高真空或超高真空环境， 常见于半导体制造、科学研究、表面分析等领域；控制单元（DCU）则用于对涡轮分子泵进行操作控制和状态监测。

普发 HiPace 80 是紧凑型高性能涡轮分子泵，专为中小流量超高真空场景设计，抽速稳定、抗粉尘能力强，支持灵活安装，集成驱动控制，运行安静低振、可靠性高、维护简便，广泛用于实验室分析、检漏、电子束设备与小型真空系统，是高精度真空应用的可靠选择。

普发 HiPace 80 涡轮分子泵 产品描述

德国普发 HiPace 80 是紧凑型高性能涡轮分子泵，氮气抽速达67L/s，极限真空优异，全气体高抽速与强压缩比。集成 TC110 驱动单元，IP54 防护、支持任意角度安装，机身小巧省空间，激光平衡技术带来低振动、低噪音与长寿命。免维护周期长、即插即用易集成，广泛适配质谱仪、检漏仪、电子显微镜、科研分析及小型超高真空系统，德国精工稳定耐用，是中小真空场景的。

技术数据

技术参数

• 抽速（N₂）：67 L/s

• 极限真空：≤1×10⁻⁷ mbar

• 额定转速：90,000 rpm

• 驱动单元：集成 TC110 控制器

• 进气接口：DN 63 ISO-K / CF

• 排气接口：DN 16 ISO-KF

• 冷却方式：风冷

• 防护等级：IP54

• 安装方向：任意角度安装

• 工作噪声低、振动小，适配质谱、检漏、实验室真空系统

抽速曲线

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 80 系列涡轮分子泵（分别搭配 TC 110，接口为 DN 63 ISO - K、DN 40 ISO - KF、DN 63 CF - F）的尺寸图。

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