现象：泵体过热保护触发（阈值约 105℃）自动停机，搭配罗茨增压组合连续负载或高温车间更易发生。

排查步骤：

1. 红外测温枪分别测进气端/泵体中部/排气端，排气端比进气端高 40℃以上优先查排气过滤器压差（原厂额定压差阈值约 0.03 MPa）。

2. 拆进气口滤网检查——PECVD/镀膜粉尘堵塞可致空转过热。

3. 检查冷却水流量/温度，环境温度>40℃时确认散热风扇是否损坏。

4. 若配罗茨增压组合，同步检查增压泵负载与排气管背压是否过高。

方案：清理进气滤网 · 更换排气过滤器滤芯 · 检修冷却水路/散热风道 · 必要时清理泵内沉积结焦；带增压组合时一并疏通排气管、降低背压。

现象：极限真空不达标、负压上不去、抽气变慢。经验上 10 个"真空不够"的报修约 7 个是系统泄漏，与泵本身无关。

排查步骤：①用 KF 盲板封闭进气口，空载抽 5 分钟测本底真空；②本底达标→问题在工艺腔/O 圈（如光刻胶腐蚀 O 圈），做氦质谱检漏定位；③本底不达标→查泵体密封件、管路法兰、轴封是否老化失效；④带罗茨增压组合时，单独测试干泵本体本底，排除增压泵侧内漏。

方案：氦质谱检漏仪定位泄漏点；更换 Chemraz 全氟弹性体等耐腐密封圈；修复或更换磨损的轴封与法兰密封；增压组合侧同步检修。

现象：运行中噪音异常增大、机体振动明显，长时间运行可致轴承/齿轮二次损伤。

原因/方案：听音定位——轴承损坏多为规律性低频轰鸣，齿轮/转子卡滞为不规律敲击；检查轴承润滑与磨损量→检查轴封是否泄漏、同步齿轮啮合间隙与转子是否卡滞→更换损坏轴承、调整/更换轴封压盖、转子卡滞时拆机清理并修复。

现象：抽气速率明显下降、达到目标真空时间变长，常见于长期运行后内表面磨损或密封件失效；带增压组合时表现为组合抽速达不到标称值。

方案：对比当前抽速与出厂标称值（干泵本体 500 m³/h）确认衰减幅度→检查泵体内表面磨损与螺杆直线度偏差→检查密封件是否损坏导致内漏；增压组合时检查增压泵转子间隙；修复/更换磨损部件、更换损坏密封件，恢复泵腔密封间隙；增压侧按需检修。

现象：上电后无法正常启动、电机过载跳闸，或启动瞬间电流飙升；带增压组合时常见排气背压过高或增压泵侧卡滞。

方案：检查进气端是否积液/化学介质结晶导致螺杆卡死→检查排气管道是否堵塞、背压是否过高→测量运行电流判断是否轴承磨损致转子摩擦→增压组合时检查增压泵电机与联轴器状态；对应处理：加装前置冷凝回收装置并清理腔体结晶、疏通排气管/增大管径降低背压、拆机更换轴承并修复转子；增压侧同步检修。

现象：冷却水报警、泵体温度异常上升，iXH500Q 在 PECVD/刻蚀等连续高负荷产线中冷却系统状态直接影响稳定运行。

方案：检查冷却水管道是否畅通、有无堵塞或结垢→确认冷却水流量达到要求、进水温度适宜→检查冷却回路接头、水泵及温控元件；对应处理：疏通/清洗冷却水路、确保流量与温度满足规格、检修或更换故障水泵/温控/接头部件。

答：先用红外测温枪测进气端/泵体中部/排气端三点温度，排气端比进气端高 40℃以上优先查排气过滤器压差是否超标；再查进气滤网是否粉尘堵塞、冷却水流量/温度是否正常、散热风扇是否损坏。带罗茨增压组合时同步排查增压泵负载与排气管背压。对应处理：清滤网、换排气过滤器滤芯、检修冷却水路与散热风道。

答：不一定。经验上约 70% 的"真空不够"报修是系统侧泄漏。建议先用 KF 盲板封闭进气口空载抽 5 分钟测本底：本底达标说明问题在工艺腔/O 圈，需氦质谱检漏；本底不达标再判定为泵体密封件/轴封故障。带增压组合时应单独测试干泵本体本底。

答："Q"表示该型号可搭配罗茨增压泵（Booster）组合使用，组合后系统峰值抽速可达约 3000 m³/h，适用于 PECVD/TCO 刻蚀等需大流量抽气的严苛制程。维修时除常规泵体检修外，需同步诊断增压泵状态、排气管背压与组合系统密封。

答：两者同属 iXH 系列 500 m³/h 抽速段，结构相近、诊断逻辑一致；差异在于 iXH500H 为"高氢抽速"版本，iXH500Q 为"可配罗茨增压组合"版本。配件与维修方案需按具体型号核对，不可完全混用。

答：建议按运行工况制定年检预防性维保计划，半导体/光伏等高负荷产线可结合实际运行小时数缩短保养周期；保养内容包括进气滤网、排气过滤器、密封件、轴承状态检查及冷却系统维护。