一、型号参数对照

iXH100 与 iXH200H 是 iXH 系列小型入门段，主打紧凑占地、低能耗与洁净无油，适合腔体较小、气体负载较轻的工艺段。参数来自 Edwards 官方 datasheet。

后缀解读：H = 高氢抽速（Greatly increased hydrogen pumping speed），专用于含氢量大的先进外延（EPI）与太阳能制程。两款均为干式无油螺杆结构，标配 XCEDE 防腐涂层 + Gas Buster™ 粉尘处理，兼容 SEMI E54 与 Green Mode。

系列共性特点

• 模块化堆叠设计，干泵 + 罗茨增压泵可上下堆叠，占地减少约 30%；

• 相较上代 iH 系列能耗降低约 10%，Green Mode 待机功耗仅约 0.045 kW；

• 宽温域热管理，优化泵体温度、减少冷凝与副产物沉积；

• 单控制器管理多泵系统，支持远程监控与故障诊断。

二、共性故障诊断中心

诊断遵循"先系统后泵体"原则：真空不足的 70% 来自工艺腔泄漏或 O 圈老化，建议先用盲板封进气口测本底真空再判断。

三、标准维修流程

1. 停机断电断气源，安全核验后拆解；

2. 分段诊断故障点，出具透明维修方案与报价；

3. 使用 Edwards 原厂 / 高质量同级配件更换易损件（轴承、密封、滤芯、尖顶密封等）；

4. 专用洗涤剂清洗轴承 / 齿轮 / 密封件等，记录磨损件；

5. 按序组装，螺钉紧固适度；

6. 空载 + 负载测试，验证真空度、温度、噪音达标；

7. 交付，提供 3–5 个工作日维修周期、180 天质保，支持 24 小时应急上门。

四、维修案例（行业典型场景）

案例 1｜iXH100 研发线 Load Lock 真空不足

问题：某半导体研发线 iXH100 抽气后 Load Lock 真空度长期徘徊在 10⁻¹ mbar，无法进入工艺。诊断：盲板封口测本底达标，定位为工艺腔侧 O 型圈被残余气体腐蚀泄漏。解决：更换 FFKM 全氟醚 O 圈 + 泵体进气法兰密封复紧，真空度恢复至 <3×10⁻² mbar，同步建议缩短 O 圈检查周期。

案例 2｜iXH200H 太阳能 EPI 制程过热跳停

问题：某太阳能外延产线 iXH200H（高氢抽速版）频繁过热跳停。诊断：排气过滤器压差超标，进气滤网被副产物粉末部分堵塞。解决：更换排气滤芯 + 清理进气滤网与流道，调整泵体温度设定减少沉积，连续运行温度稳定在阈值以内。

五、常见问题 FAQ

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