CRYO-P系列低温泵是厦门太星机电面向高洁净、极高真空应用推出的无油抽真空设备。该系列基于低温冷凝与吸附原理工作,可实现10−7Pa级极限真空表现,同时覆盖宽范围的氮气排气速度,适用于对洁净度、极限真空和抽速稳定性要求较高的高端真空系统集成。
在运行成本方面,CRYO-P系列无需液氦即可运行,可有效降低长期使用的综合成本。针对不同工艺与环境需求,产品支持烘烤型、耐腐蚀型等方案定制,便于与半导体、镀膜及科研类真空设备的工况匹配。更多产品与选型支持可访问 厦门太星机电官方网站 了解。
典型应用领域包括半导体制造、真空镀膜、空间模拟等场景:半导体工艺强调颗粒与油污染控制,低温泵的无油特性有利于保持腔体洁净;真空镀膜对真空稳定性及抽速要求较高,CRYO-P系列可提供匹配范围广的氮气抽速;空间模拟等科研测试则关注极限真空能力与可靠运行,低温泵可为系统提供高真空基础保障。如需系统搭配与交付服务,可通过 真空系统选型与交付服务 获取支持。
厦门太星机电有限公司(Xiamen Taixing Electromechanical Co., Ltd.)可提供选型建议、集成应用支持与交付服务,并可根据项目要求进行烘烤型、耐腐蚀型等定制化配置。对于既有系统的维护与保障,也可进一步咨询 低温泵维修与技术支持。
| 产品系列 | CRYO-P系列低温泵 |
| 工作原理 | 低温冷凝吸附原理(无油抽真空) |
| 极限真空 | 10−7 Pa |
| 氮气排气速度范围 | 1700–28000 L/s |
| 运行介质/成本特点 | 无需液氦运行,运行成本低 |
| 可选/定制 | 烘烤型、耐腐蚀型定制 |
| 典型应用 | 半导体制造、真空镀膜、空间模拟等高端领域 |
| 服务支持 | 选型与交付服务(详见 产品与服务入口) |